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公开(公告)号:CN106442644B
公开(公告)日:2019-01-15
申请号:CN201610848417.2
申请日:2016-09-26
申请人: 吉林大学
IPC分类号: G01N27/12
摘要: 一种基于Ce5Sn3/Sn3O4三维分等级结构的甲醛气体传感器及其制备方法,属于气体传感器技术领域。传感器从下至上依次由Al2O3衬底、Pd金属叉指电极、在Pd金属叉指电极上采用涂覆技术制备的Ce5Sn3/Sn3O4三维分等级结构敏感层组成;Ce5Sn3/Sn3O4三维分等级结构是一种由厚度为70nm~100nm的二维纳米片自组装而成的三维分等级结构,二维纳米片为掺杂了Ce5Sn3的Sn3O4材料,锡和铈的原子质量比为100:0.5~2。本发明制备的一种基于Ce5Sn3/Sn3O4三维分等级结构的甲醛气体传感器具有制备方法简单、成本低廉、响应恢复速度快、有望大规模生产的特点,对甲醛气体具有良好的检测性能。
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公开(公告)号:CN106024966B
公开(公告)日:2017-06-20
申请号:CN201610363130.0
申请日:2016-05-27
申请人: 吉林大学
IPC分类号: H01L31/101 , H01L31/032 , H01L31/0392 , H01L31/18
CPC分类号: Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要: 一种基于多晶面Ir‑Pd纳米粒子体系掺杂的TiO2薄膜紫外探测器及其制备方法,属于半导体紫外光电探测技术领域。按紫外光线入射方向,从下至上依次为:石英片衬底、多晶面Ir‑Pd纳米粒子体系掺杂的TiO2薄膜、通过磁控溅射方法制备的Au叉指电极。多晶面Ir‑Pd纳米粒子体系掺杂的TiO2薄膜的厚度为80~110nm;在该薄膜中,Ti与Ir的摩尔比为1:0.0005~0.002,Ti与Pd的摩尔比为1:0.0005~0.002,Ir‑Pd纳米粒子体系中的Ir纳米粒子和Pd纳米粒子均为多晶面结构。制作多晶面Ir‑Pd纳米粒子体系掺杂的TiO2薄膜材料,可以在Ir,Pd纳米粒子和TiO2三种材料优良性质的基础之上,通过调节掺杂Ir,Pd纳米粒子的量,更好的提升复合材料性能,从而提高器件在紫外探测领域的能力,使新型紫外探测器具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN106442644A
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201610848417.2
申请日:2016-09-26
申请人: 吉林大学
IPC分类号: G01N27/12
摘要: 一种基于Ce5Sn3/Sn3O4三维分等级结构的甲醛气体传感器及其制备方法,属于气体传感器技术领域。传感器从下至上依次由Al2O3衬底、Pd金属插指电极、在Pd金属插指电极上采用涂覆技术制备的Ce5Sn3/Sn3O4三维分等级结构敏感层组成;Ce5Sn3/Sn3O4三维分等级结构是一种由厚度为70nm~100nm的二维纳米片自组装而成的三维分等级结构,二维纳米片为掺杂了Ce5Sn3的Sn3O4材料,锡和铈的原子质量比为100:0.5~2。本发明制备的一种基于Ce5Sn3/Sn3O4三维分等级结构的甲醛气体传感器具有制备方法简单、成本低廉、响应恢复速度快、有望大规模生产的特点,对甲醛气体具有良好的检测性能。
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公开(公告)号:CN106356421A
公开(公告)日:2017-01-25
申请号:CN201610910686.7
申请日:2016-10-20
申请人: 吉林大学
IPC分类号: H01L31/109 , H01L31/18
CPC分类号: Y02P70/521 , H01L31/109 , H01L31/18
摘要: 一种基于垂直导电方向的TiO2-NiO异质P-N结所形成光控传输沟道的紫外探测器及其制备方法,属于半导体紫外光电探测技术领域。从下至上依次由衬底、采用溶胶-凝胶法在衬底上制备的纳米TiO2薄膜、采用蒸镀法在纳米TiO2薄膜上制备的一对Au引线点、采用蒸镀法及控制氧化法在纳米TiO2薄膜表面和Au引线点上制备的Au/Ni叉指电极、采用蒸镀法及控制氧化法在TiO2薄膜表面和Au/Ni叉指电极上制备的NiO薄膜构成,其中NiO薄膜的厚度为20~60nm。叉指电极间形成垂直于器件导电方向的TiO2-NiO异质P-N结,在暗态下空间电荷区较宽,器件传输沟道较窄,有效限制暗电流;在紫外光照下,P-N结内建电场减弱,空间电荷区变窄,光控传输沟道变宽,实现器件的高光电流。
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公开(公告)号:CN105928983A
公开(公告)日:2016-09-07
申请号:CN201610490157.6
申请日:2016-06-17
申请人: 吉林大学
IPC分类号: G01N27/00
摘要: 本发明公开了一种乙炔气体传感器及其制备方法,该乙炔气体传感器由Al2O3衬底、Pd金属叉指电极和基于Au纳米粒子修饰SnO2纳米晶敏感层组成。该制备方法的步骤为:把Pd金属叉指电极的Al2O3衬底清洗干净并干燥;室温条件下得到SnO2纳米晶材料;将氯金酸溶于去离子水形成氯金酸溶液,然后将SnO2纳米晶加入到氯金酸溶液中,超声处理后加入氨水,所得产物清洗、干燥、煅烧得到Au纳米粒子修饰的SnO2纳米晶材料,研磨成微球粉末;滴入去离子水,再研磨成浆料;将浆料涂覆在Pd金属叉指电极上,烘干得到以Au纳米粒子修饰SnO2纳米晶为敏感层、以Pd为金属的Pd金属叉指电极的气体传感器。
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公开(公告)号:CN106910751A
公开(公告)日:2017-06-30
申请号:CN201710129567.2
申请日:2017-03-07
申请人: 吉林大学
IPC分类号: H01L27/144 , H01L31/18
CPC分类号: Y02P70/521 , H01L27/1446 , H01L27/1443 , H01L31/18
摘要: 一种基于自耗尽效应的TiO2/NPB异质一维纳米棒阵列紫外探测器及其制备方法,属于紫外光电探测技术领域。其从下至上依次由FTO玻璃基底、感光层TiO2/NPB异质一维纳米棒阵列、Au电极构成;其中,感光层TiO2/NPB异质一维纳米棒阵列由垂直生长在FTO表面的TiO2一维纳米棒阵列、在TiO2一维纳米棒阵列的空隙间填充的NPB材料组成。在N型TiO2一维纳米棒阵列间填充了P型NPB材料后,暗态下,P‑N异质材料产生自耗尽效应并形成内建电场与耗尽区,材料的载流子浓度降低,器件表现为高电阻状态,使器件的暗电流被有效降低。在紫外光照下,光生载流子分离并积累导致耗尽区变窄并直至消失,器件的自耗尽效应被抵消,保证器件具有较高的增益和光电流。
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公开(公告)号:CN106546637A
公开(公告)日:2017-03-29
申请号:CN201610977931.6
申请日:2016-11-08
申请人: 吉林大学
IPC分类号: G01N27/12
摘要: 一种以Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒为敏感层的乙酸乙酯气体传感器及其制备方法,属于气体传感器技术领域。该传感器从下至上依次由Al2O3衬底、Pd金属插指电极、在带有Pd金属叉指电极的Al2O3衬底上采用涂覆技术制备的Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒敏感层组成;其中Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒的粒径为1~1.2μm。本发明的乙酸乙酯气体传感器,Al掺杂到立方体结构In2O3微米颗粒中引起晶格缺陷,这些晶格缺陷有利于提高气敏材料的气敏响应。同时本发明的工艺简单、制得的乙酸乙酯气体传感器体积小、适于大批量生产,因而具有重要的应用价值。本发明具有制备方法简单、成本低廉、响应恢复速度快、有望大规模生产的特点,对乙酸乙酯气体具有良好的检测性能。
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公开(公告)号:CN106024966A
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201610363130.0
申请日:2016-05-27
申请人: 吉林大学
IPC分类号: H01L31/101 , H01L31/032 , H01L31/0392 , H01L31/18
CPC分类号: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/101 , H01L31/032 , H01L31/0392 , H01L31/18
摘要: 一种基于多晶面Ir‑Pd纳米粒子体系掺杂的TiO2薄膜紫外探测器及其制备方法,属于半导体紫外光电探测技术领域。按紫外光线入射方向,从下至上依次为:石英片衬底、多晶面Ir‑Pd纳米粒子体系掺杂的TiO2薄膜、通过磁控溅射方法制备的Au叉指电极。多晶面Ir‑Pd纳米粒子体系掺杂的TiO2薄膜的厚度为80~110nm;在该薄膜中,Ti与Ir的摩尔比为1:0.0005~0.002,Ti与Pd的摩尔比为1:0.0005~0.002,Ir‑Pd纳米粒子体系中的Ir纳米粒子和Pd纳米粒子均为多晶面结构。制作多晶面Ir‑Pd纳米粒子体系掺杂的TiO2薄膜材料,可以在Ir,Pd纳米粒子和TiO2三种材料优良性质的基础之上,通过调节掺杂Ir,Pd纳米粒子的量,更好的提升复合材料性能,从而提高器件在紫外探测领域的能力,使新型紫外探测器具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN105928983B
公开(公告)日:2018-11-09
申请号:CN201610490157.6
申请日:2016-06-17
申请人: 吉林大学
IPC分类号: G01N27/00
摘要: 本发明公开了一种乙炔气体传感器及其制备方法,该乙炔气体传感器由Al2O3衬底、Pd金属叉指电极和基于Au纳米粒子修饰SnO2纳米晶敏感层组成。该制备方法的步骤为:把Pd金属叉指电极的Al2O3衬底清洗干净并干燥;室温条件下得到SnO2纳米晶材料;将氯金酸溶于去离子水形成氯金酸溶液,然后将SnO2纳米晶加入到氯金酸溶液中,超声处理后加入氨水,所得产物清洗、干燥、煅烧得到Au纳米粒子修饰的SnO2纳米晶材料,研磨成微球粉末;滴入去离子水,再研磨成浆料;将浆料涂覆在Pd金属叉指电极上,烘干得到以Au纳米粒子修饰SnO2纳米晶为敏感层、以Pd为金属的Pd金属叉指电极的气体传感器。
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公开(公告)号:CN106910751B
公开(公告)日:2018-08-21
申请号:CN201710129567.2
申请日:2017-03-07
申请人: 吉林大学
IPC分类号: H01L27/144 , H01L31/18
CPC分类号: Y02P70/521
摘要: 一种基于自耗尽效应的TiO2/NPB异质一维纳米棒阵列紫外探测器及其制备方法,属于紫外光电探测技术领域。其从下至上依次由FTO玻璃基底、感光层TiO2/NPB异质一维纳米棒阵列、Au电极构成;其中,感光层TiO2/NPB异质一维纳米棒阵列由垂直生长在FTO表面的TiO2一维纳米棒阵列、在TiO2一维纳米棒阵列的空隙间填充的NPB材料组成。在N型TiO2一维纳米棒阵列间填充了P型NPB材料后,暗态下,P‑N异质材料产生自耗尽效应并形成内建电场与耗尽区,材料的载流子浓度降低,器件表现为高电阻状态,使器件的暗电流被有效降低。在紫外光照下,光生载流子分离并积累导致耗尽区变窄并直至消失,器件的自耗尽效应被抵消,保证器件具有较高的增益和光电流。
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