半导体器件及其制作方法
摘要:
一种半导体器件,包括:第一外延层,在衬底上;第二外延层,在第一外延层上;第一源/漏区和第二源/漏区,在第一外延层和第二外延层中;第一沟道,由第一源/漏区之间的第二外延层构成;第一栅极堆叠,在第一沟道上,第一源/漏区、第一沟道和第一栅极堆叠构成第一器件;第二沟道,由第二源漏区之间的第一外延层构成;第二栅极堆叠,在第二沟道上,第二源/漏区、第二沟道和第二栅极堆叠构成第二器件。依照本发明的半导体及其制作方法,通过选择性刻蚀去除衬底上叠置的两个外延层之一,针对NMOS和PMOS形成不同材料的沟道,简单有效地提高了载流子迁移率和CMOS驱动能力。
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