发明授权
- 专利标题: 半导体器件及其制作方法
-
申请号: CN201510605350.5申请日: 2015-09-21
-
公开(公告)号: CN106549016B公开(公告)日: 2019-09-24
- 发明人: 朱正勇 , 毛淑娟 , 殷华湘
- 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 申请人地址: 北京市朝阳区北土城西路3#
- 专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北土城西路3#
- 代理机构: 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所
- 代理商 陈红
- 主分类号: H01L27/092
- IPC分类号: H01L27/092 ; H01L21/8238
摘要:
一种半导体器件,包括:第一外延层,在衬底上;第二外延层,在第一外延层上;第一源/漏区和第二源/漏区,在第一外延层和第二外延层中;第一沟道,由第一源/漏区之间的第二外延层构成;第一栅极堆叠,在第一沟道上,第一源/漏区、第一沟道和第一栅极堆叠构成第一器件;第二沟道,由第二源漏区之间的第一外延层构成;第二栅极堆叠,在第二沟道上,第二源/漏区、第二沟道和第二栅极堆叠构成第二器件。依照本发明的半导体及其制作方法,通过选择性刻蚀去除衬底上叠置的两个外延层之一,针对NMOS和PMOS形成不同材料的沟道,简单有效地提高了载流子迁移率和CMOS驱动能力。
公开/授权文献
- CN106549016A 半导体器件及其制作方法 公开/授权日:2017-03-29
IPC分类: