本发明公开了一种多晶硅生产中的低沸氯硅烷的分离系统，包括分隔壁精馏塔，分离系统还包括：反歧化固定床，反歧化固定床与分隔壁精馏塔连接，反歧化固定床用于装填催化剂催化进行二氯二氢硅和四氯化硅的反歧化反应，反应得到的产物进入分隔壁精馏塔。本发明中的多晶硅生产中的低沸氯硅烷分离系统将催化剂装填于单独成立的反歧化固定床内，更换简单且无需停运分隔壁精馏塔，可以使用两台反歧化固定床，实行一开一备使用，即使更换催化剂，生产仍可继续进行，且经过更换后的催化剂内部几乎不含有氯硅烷，更换过程安全。本发明中的分离系统中，催化剂装填于独立于分隔壁精馏塔外的反歧化固定床内，提高了分隔壁精馏塔的温度和压力的调节使用范围。