发明公开
CN106571160A 一种相变存储器的处理方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种相变存储器的处理方法
- 专利标题(英): Processing method of phase change memory
-
申请号: CN201510669893.3申请日: 2015-10-13
-
公开(公告)号: CN106571160A公开(公告)日: 2017-04-19
- 发明人: 李莹
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号;
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号;
- 代理机构: 北京市磐华律师事务所
- 代理商 高伟; 冯永贞
- 主分类号: G11C13/00
- IPC分类号: G11C13/00
摘要:
本发明涉及一种相变存储器的处理方法。所述相变存储器包括晶体管和相变存储电阻单元,所述晶体管的漏极与所述相变存储电阻单元电连接,所述方法包括:步骤S1:在所述晶体管的栅极上施加电压,以导通所述晶体管,并将所述相变存储电阻单元的相变材料层中阴离子聚集的一端与脉冲电源的阴极电连接,所述相变材料层中阳离子聚集的一端与脉冲电源的阳极电连接;步骤S2:施加脉冲电压,以使发生迁移的所述阳离子复原,使发生成分偏析的所述相变材料层的成分恢复到正常。所述方法使发生迁移的所述阳离子复原,以修复所述相变材料层的组成,从而PCRAM非晶化操作(RESET)成功,提高PCRAM的性能。