单晶硅平收尾方法及制备方法
摘要:
本发明涉及单晶硅平收尾方法及制备方法,平收尾方法包括:关闭自动温度控制系统,停止坩埚上升;手动升温10~20℃,晶体提拉速度降低至0.1~0.4mm/min,保持晶体继续生长20~30min,晶体与固液界面接触的一端由凹面生长为平面;关闭晶体提拉速度的自动控制系统,手动降低提拉速度至小于0.1mm/min,保持晶体继续生长20~30min,晶体与固液界面接触的一端由平面生长为凸面;将坩埚一次性下降20~50mm,使晶体脱离坩埚内熔硅液面,降低晶体转速和坩埚转速;晶体降温,继续提拉晶体获得产品。本发明可减少熔硅的耗用量,缩短单晶硅的制备周期,提高单晶硅合格品的长度和重量以及成品的合格率。
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