发明公开
- 专利标题: 单晶硅平收尾方法及制备方法
- 专利标题(英): Flat ending method of monocrystal silicon and preparation method of monocrystal silicon
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申请号: CN201611197875.0申请日: 2016-12-22
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公开(公告)号: CN106637402A公开(公告)日: 2017-05-10
- 发明人: 刘聪贤 , 刘辉 , 王彦玉 , 朱眉清
- 申请人: 卡姆丹克太阳能(江苏)有限公司
- 申请人地址: 江苏省南通市海安开发区黄海大道
- 专利权人: 卡姆丹克太阳能(江苏)有限公司
- 当前专利权人: 卡姆丹克太阳能(江苏)有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省南通市海安开发区黄海大道
- 代理机构: 广州三环专利代理有限公司
- 代理商 郝传鑫
- 主分类号: C30B29/06
- IPC分类号: C30B29/06 ; C30B15/00
摘要:
本发明涉及单晶硅平收尾方法及制备方法,平收尾方法包括:关闭自动温度控制系统,停止坩埚上升;手动升温10~20℃,晶体提拉速度降低至0.1~0.4mm/min,保持晶体继续生长20~30min,晶体与固液界面接触的一端由凹面生长为平面;关闭晶体提拉速度的自动控制系统,手动降低提拉速度至小于0.1mm/min,保持晶体继续生长20~30min,晶体与固液界面接触的一端由平面生长为凸面;将坩埚一次性下降20~50mm,使晶体脱离坩埚内熔硅液面,降低晶体转速和坩埚转速;晶体降温,继续提拉晶体获得产品。本发明可减少熔硅的耗用量,缩短单晶硅的制备周期,提高单晶硅合格品的长度和重量以及成品的合格率。
公开/授权文献
- CN106637402B 单晶硅平收尾方法及制备方法 公开/授权日:2019-04-09
IPC分类: