一种电容式旋变位移传感器
摘要:
本发明涉及一种电容式旋变位移传感器,其特征在于,该位移传感器包括敏感结构和解调电路;敏感结构包括动尺和定尺,动尺和定尺平行设置,动尺内侧平行设置两正弦敏感电极,两正弦敏感电极之间设置耦合电极,且两正弦敏感电极和耦合电极为等势体;定尺内侧平行设置两采集电极,两采集电极之间设置激励电极;解调电路包括旋变解调模块、C‑V转换模块、差分放大模块、误差补偿模块和电源模块,旋变解调模块输出载波信号经处理发送到敏感结构后经C‑V转换模块和差分放大模块得到粗测量正交旋变信号和细测量正交旋变信号,并经旋变解调模块得到粗测量位移和细测量位移后进行误差补偿得到绝对位移,本发明可以广泛应用于非接触式电容位移传感器中。
公开/授权文献
0/0