发明授权
- 专利标题: 一种菲涅尔器件的制作方法及制作装置
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申请号: CN201611125124.8申请日: 2016-12-09
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公开(公告)号: CN106646691B公开(公告)日: 2019-02-22
- 发明人: 张瑾 , 陈林森 , 浦东林 , 朱鹏飞
- 申请人: 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 , 苏州大学
- 申请人地址: 江苏省苏州市苏虹东路北钟南街478号
- 专利权人: 苏州苏大维格光电科技股份有限公司,苏州大学
- 当前专利权人: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司,苏州大学
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市苏虹东路北钟南街478号
- 代理机构: 苏州谨和知识产权代理事务所
- 代理商 唐静芳
- 主分类号: G02B3/08
- IPC分类号: G02B3/08 ; G03F7/20
摘要:
本发明提供了一种菲涅尔器件的制作方法,其包括以下步骤:1)图像3D建模;2)将建模后的3D图,按照菲涅尔的变化规律进行量化处理;3)通过等高投影或等宽投影进行像素微结构模拟;4)像素化拼接;5)通过光刻工艺至整个图像光刻完成;6)通过转移工艺将模板转移到应用材料上。本发明还提供了一种菲涅尔器件的制作装置。本发明与现有技术相比,可以实现任意形状的菲涅尔器件;且尺寸不受限制,通过拼版等工艺,可以做大尺寸的菲涅尔器件;且该方法降低了成本。
公开/授权文献
- CN106646691A 一种菲涅尔器件的制作方法及制作装置 公开/授权日:2017-05-10