一种菲涅尔器件的制作方法及制作装置

    公开(公告)号:CN106646691B

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201611125124.8

    申请日:2016-12-09

    IPC分类号: G02B3/08 G03F7/20

    摘要: 本发明提供了一种菲涅尔器件的制作方法,其包括以下步骤:1)图像3D建模;2)将建模后的3D图,按照菲涅尔的变化规律进行量化处理;3)通过等高投影或等宽投影进行像素微结构模拟;4)像素化拼接;5)通过光刻工艺至整个图像光刻完成;6)通过转移工艺将模板转移到应用材料上。本发明还提供了一种菲涅尔器件的制作装置。本发明与现有技术相比,可以实现任意形状的菲涅尔器件;且尺寸不受限制,通过拼版等工艺,可以做大尺寸的菲涅尔器件;且该方法降低了成本。

    基片的预对准方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107908086A

    公开(公告)日:2018-04-13

    申请号:CN201711122043.7

    申请日:2017-11-14

    IPC分类号: G03F9/00

    摘要: 本发明涉及一种基片的预对准方法,该基片的预对准方法通过在基片上投影一幅特征图像和测距图像来确定边缘上边缘点的坐标,并根据边缘点坐标来计算基片的倾斜角度和基片中心坐标,最后通过移动工件台来使基片中心坐标和成像中心坐标对准,实现快速高效高精度的预对准工作。与现有技术相比该基片的预对准方法有着无需增加现有直写设备硬件成本、步骤简单、预对准精度高的优势。

    一种光衍射器件及其制备方法和三维显示装置

    公开(公告)号:CN106842606A

    公开(公告)日:2017-06-13

    申请号:CN201710222207.7

    申请日:2017-04-06

    摘要: 本发明公开了一种基于随机激光散斑的纳米级结构光衍射器件。该结构光衍射器件的衍射结构单元只有几百纳米,甚至几十纳米,具有分辨率高,对比度高和视场角大等优势。在此基础上,本发明还提出了一种纳米级衍射器件的制作方法,即位相光场干涉光刻法。利用该方法可以制备出高品质的深度感知结构光衍射器件。相比于传统的光学元件加工技术,本发明提出的位相光场干涉光刻法具有分辨率高和位相匹配精度高等优势,与紫外投影曝光和电子束直写等光刻技术相比,本发明提出的光刻技术具有速度快、成本低等优势。

    AMOLED用金属掩膜板的制造方法

    公开(公告)号:CN108728790A

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201710263831.1

    申请日:2017-04-21

    摘要: 一种AMOLED用金属掩膜板的制造方法,包括步骤:选取导电基板;在导电基板的表面涂布一层光刻胶;使光刻胶光刻出与金属掩膜板的蒸镀孔相对应的光刻胶图形,但光刻出的光刻胶图形的尺寸大于金属掩膜板的蒸镀孔的设计尺寸;在带有光刻胶图形的导电基板上进行电铸过生长,使金属材料的生长厚度大于光刻胶图形的厚度,金属材料同时将光刻胶图形的四周边缘覆盖,直至光刻胶图形未被金属材料覆盖的开口区域的尺寸与金属掩膜板的蒸镀孔的设计尺寸一致;去除导电基板上残留的光刻胶。上述金属掩膜板的制造方法只需要一次图形光刻和电铸工艺便可加工成型,工艺简单,成本低廉,而且是通过在带有光刻胶图形的导电基板上电铸过生长出金属掩膜板,因此精度更高。

    混合光刻系统及混合光刻方法

    公开(公告)号:CN106681106B

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201710206374.2

    申请日:2017-03-31

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 一种混合光刻系统,包括光源、光束整形器、光场调制器、反射镜、成像光学系统和位相器件,光束整形器用于整形光源发出的光束;光场调制器用于将整形后的光束生成图形光;成像光学系统和反射镜用于将光场传递至待曝光的光刻件表面实现直写光刻;位相器件用于在光刻件的表面形成干涉曝光场实现干涉光刻。本发明的混合光刻系统具有直写光刻和干涉光刻两种功能,可进行混合光刻,提高了纳米光刻效率,推动微纳结构相关的器件和材料应用具有重要意义。本发明还涉及一种的混合光刻方法。

    一种菲涅尔器件的制作方法及制作装置

    公开(公告)号:CN106646691A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201611125124.8

    申请日:2016-12-09

    IPC分类号: G02B3/08 G03F7/20

    摘要: 本发明提供了一种菲涅尔器件的制作方法,其包括以下步骤:1)图像3D建模;2)将建模后的3D图,按照菲涅尔的变化规律进行量化处理;3)通过等高投影或等宽投影进行像素微结构模拟;4)像素化拼接;5)通过光刻工艺至整个图像光刻完成;6)通过转移工艺将模板转移到应用材料上。本发明还提供了一种菲涅尔器件的制作装置。本发明与现有技术相比,可以实现任意形状的菲涅尔器件;且尺寸不受限制,通过拼版等工艺,可以做大尺寸的菲涅尔器件;且该方法降低了成本。