鳍式场效应晶体管及其形成方法
Abstract:
一种鳍式场效应晶体管及其形成方法,其中鳍式场效应晶体管的形成方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底内形成有若干第一凹槽;在所述半导体衬底上形成硅锗层,所述硅锗层填充满第一凹槽;刻蚀去除部分厚度的硅锗层,在所述硅锗层中形成若干第二凹槽;对所述第二凹槽侧壁和底部的硅锗层进行平坦化处理;进行平坦化处理后,在所述第二凹槽中形成填充满第二凹槽的磷化铟层;回刻蚀去除磷化铟层之间的硅锗层,暴露出磷化铟层的侧壁表面;在所述磷化铟层的顶部和侧壁表面上形成铟镓砷层;在所述铟镓砷层表面上形成高K介质层;在所述高K介质层上形成金属栅电极。本发明方法形成的鳍式场效应晶体管载流子迁移率提升。
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