Invention Grant
- Patent Title: 鳍式场效应晶体管及其形成方法
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Application No.: CN201510465603.3Application Date: 2015-07-31
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Publication No.: CN106653602BPublication Date: 2019-11-01
- Inventor: 韩秋华
- Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区张江路18号
- Assignee: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- Current Assignee: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区张江路18号
- Agency: 北京集佳知识产权代理有限公司
- Agent 吴敏
- Main IPC: H01L21/336
- IPC: H01L21/336 ; H01L29/78
Abstract:
一种鳍式场效应晶体管及其形成方法,其中鳍式场效应晶体管的形成方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底内形成有若干第一凹槽;在所述半导体衬底上形成硅锗层,所述硅锗层填充满第一凹槽;刻蚀去除部分厚度的硅锗层,在所述硅锗层中形成若干第二凹槽;对所述第二凹槽侧壁和底部的硅锗层进行平坦化处理;进行平坦化处理后,在所述第二凹槽中形成填充满第二凹槽的磷化铟层;回刻蚀去除磷化铟层之间的硅锗层,暴露出磷化铟层的侧壁表面;在所述磷化铟层的顶部和侧壁表面上形成铟镓砷层;在所述铟镓砷层表面上形成高K介质层;在所述高K介质层上形成金属栅电极。本发明方法形成的鳍式场效应晶体管载流子迁移率提升。
Public/Granted literature
- CN106653602A 鳍式场效应晶体管及其形成方法 Public/Granted day:2017-05-10
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IPC分类: