本发明公开了一种适于研究ZnMgO/ZnO异质结中合金群散射的MonteCarlo模拟方法，包括：1)计算得ZnO和Zn1‑xMgxO的能带结构，采用五能谷解析带近似；2)拟合得ZnO和Zn1‑xMgxO最低五个能谷的有效质量；3)得到ZnMgO/ZnO异质结的电子波函数、量子化能级和电子面密度；4)建立模拟ZnMgO/ZnO异质结输运特性的MC模型；5)计算各种散射机制的散射率；6)初始化各粒子的波矢；7)设置粒子编号n和电场强度F；8)n加1；9)判断粒子编号与模拟粒子总数的关系；10)判断模拟时间是否为总仿真时间；11)计算电子的稳态漂移速度和电子迁移率；12)绘制合金群散射对电子输运特性影响的关系图。得到的电子输运特性更加精确，为在ZnMgO/ZnO异质结中降低合金群散射的影响和提高电子迁移率特性提供了参考。