本发明公开了一种用于对焦的装置和方法，该装置包括：照明单元，其包括光源(101)、照明透镜(102)与照明狭缝(103)，用于提供入射光；分束单元，用于对其所接收到的光进行分束；物镜(107)，用于在待测物体(109)的表面上对所述照明狭缝(103)进行成像，并且将所述照明狭缝(103)的成像反射至所述分束单元；探测单元，其包括探测狭缝(113)和探测器(114)，用于接收来自所述分束单元的所述照明狭缝(103)的成像并记录与所述待测物体(109)的表面相关的共焦信号，其中，所述探测狭缝(113)与所述照明狭缝(103)分别相对于各自的光轴以相同的倾斜角倾斜设置，并且相对于物镜(107)处于共焦位置。