用于光学计量设备的聚焦系统

    公开(公告)号:CN116745600B

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202180090044.6

    申请日:2021-11-03

    Abstract: 使用聚焦系统将来自光学计量设备的光聚焦到样本上的测量斑中。该聚焦系统使用从该测量斑反射的光的图像来确定该样本的期望位置处的最佳焦点位置。该聚焦系统选择反射光的诸如偏振状态或波长的特性以用于聚焦。该反射光的被选择用于确定焦点位置的该特性受到该样本的不同部分的不同影响。例如,从样本的顶表面反射的光可具有与由下面层反射的光不同的特性。该反射光的所选特性被该聚焦系统用来将该测量斑聚焦在该样本的该顶表面或下面层处。

    一种双路线传感器自动对焦系统
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119395851A

    公开(公告)日:2025-02-07

    申请号:CN202411942648.0

    申请日:2024-12-27

    Abstract: 本发明涉及半导体技术领域,具体为一种双路线传感器自动对焦系统,其能够使追焦动作顺畅,提高对焦效率,拍摄清楚不歪斜的照片,对焦过程为:光源照射条纹状图案,经过反射镜、半反射镜、透镜后透射到物体上,物体的图形经过透镜、半反射镜、成像镜头、分束器后分成两路,一路直接进入取像装置,另一路经过光路差分系统再次分成两路,一路经过线传感器A使光聚焦于线传感器A的前侧,另一路经过线传感器B使光聚焦于线传感器B的后侧,线传感器A和线传感器B将信号送至对焦控制器,对焦控制器以线传感器A的信号和线传感器B的信号强度相等作为准焦信号,对焦控制器持续控制驱动器调整镜头与观察物体的距离从而调节光路距离,维持准焦信号状态。

    一种变焦曲线拟合方法、装置、存储介质及电子设备

    公开(公告)号:CN118938432B

    公开(公告)日:2024-12-20

    申请号:CN202411427794.X

    申请日:2024-10-14

    Inventor: 李林

    Abstract: 本发明提出一种变焦曲线拟合方法、装置、存储介质及电子设备,获取第i物距对应的第i采样集合;基于第i采样集合确定变焦曲线的目标固定参数和物距参数算式;基于目标固定参数和物距参数算式构建目标变倍马达坐标对应的物距与变焦马达坐标转换算式;基于目标变倍马达坐标对应的变焦马达估算坐标与物距与变焦马达坐标转换算式,确定目标物距;基于物距参数算式、目标固定参数以及目标物距构建目标物距对应的目标变焦曲线,目标变焦曲线用于在处于目标物距时指导对焦。在有限的物距采样的基础上,可以反算目标物距,从而得到对应的目标变焦曲线,在保障目标变焦曲线精度的前提下,极大地减少采样时间,提升拟合效率。

    透镜驱动装置和相机设备
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118984964A

    公开(公告)日:2024-11-19

    申请号:CN202380022006.6

    申请日:2023-03-30

    Inventor: 朴泰峰 薛东贤

    Abstract: 本实施例涉及一种透镜驱动装置,包括:壳体;透镜保持器,所述透镜保持器布置在所述壳体内;第一磁体,所述第一磁体布置在所述壳体中;第二磁体,所述第二磁体布置在所述透镜保持器上;第一线圈,所述第一线圈通过与所述第一磁体的相互作用而使所述第一磁体在光轴方向上移动;第二线圈,所述第二线圈通过与所述第二磁体的相互作用而使所述第二磁体在垂直于光轴的方向上移动;第一球,所述第一球布置在所述壳体和所述透镜保持器之间;以及丝线,所述丝线相对于所述壳体以可移动方式支撑所述透镜保持器。

    自动聚焦装置及离焦距离的确定方法

    公开(公告)号:CN118962956A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202411013330.4

    申请日:2024-07-26

    Abstract: 本发明提供了自动聚焦装置、离焦距离确定方法及存储介质。自动聚焦装置包括多通道光源、第一光栅掩模、显微物镜、第一分光元件、第二光栅掩模、第一多象限探测器、第二多象限探测器及处理器。多通道光源提供多通道照明光束。显微物镜将多通道照明光束经过第一光栅掩模产生的第一图案投影到待测样品的表面,并收集待测样品的表面产生的反射光束。第一分光元件将反射光束分别传输到第一探测光路和第二探测光路。第二光栅掩模具有与第一光栅掩模不同的第二图案。第一多象限探测器采集其输出的第一光信号。第二多象限探测器采集第一分光元件向第二探测光路传输的第二光信号。处理器根据第一光信号与第二光信号的差异,确定待测样品的离焦距离。

    一种视觉自动调焦装置及方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118938431A

    公开(公告)日:2024-11-12

    申请号:CN202410901081.6

    申请日:2024-07-05

    Abstract: 本公开提供一种视觉自动调焦装置及方法,装置包括:沿调焦光路依次设置的照明光源、分光镜、成像物镜、复合靶标、位移台和成像探测器;其中,复合靶标,包括背光板、暗场亮线分划板和视觉反射片;调焦光路包括:粗调焦光路与精准调焦光路;粗调焦光路为:照明光源发出的照明光依次通过所述分光镜、成像物镜到达复合靶标的视觉反射片,经视觉反射片反射后,再经过成像物镜成像至成像探测器上;精准调焦光路为:所述背光板发出的光经过所述暗场亮线分划板投射,再经过所述成像物镜、所述分光镜成像至所述成像探测器上。本申请通过使用复合靶标与成像系统配合,能够实现任意距离下测量目标的快速精确自动对焦,调焦精度不受光学系统景深影响。

    图像处理装置、图像处理方法和程序

    公开(公告)号:CN118805380A

    公开(公告)日:2024-10-18

    申请号:CN202380024007.4

    申请日:2023-02-03

    Inventor: 安井宽和

    Abstract: 对于拍摄暗部得到的图像,在实现合焦确认的容易度提高的同时实现画质提高。根据本技术的图像处理装置包括:对比度提取单元,通过从基于拍摄图像的输入图像中提取对比度分量来获取对比度图像;边缘提取单元,通过从输入图像中提取边缘分量来获取边缘图像;边缘增强处理单元,通过进行将对比度图像乘以根据边缘图像的信号值而确定的系数的处理,来获取边缘增强对比度图像;图像放大单元,通过放大输入图像来获取放大图像;以及叠加图像生成单元,通过将边缘增强对比度图像叠加于放大图像来获取叠加图像。

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