本发明提供一种基于柔性基板的高稳定霍尔元件及其制备方法，该柔性的霍尔元件结构为对称的四叶草结构、缺角矩阵结构、十字星形结构等各种不同的结构。所述霍尔元件结构包括柔性基底、以真空蒸镀方式堆栈而成的两层或多层不同温度霍尔系数的薄膜层、电极以及起保护作用的壳体。所述的柔性基底为塑料或超薄铝片。本发明的一种柔性、高稳定的霍尔元件可减小温度对霍尔电压的影响，提升霍尔元件稳定性，并且它的柔性使其具有广泛的应用前景，比如可以嵌入智能纺织物，用这种纺织物制成的服装可以随时监控人体的各种功能；也可将其作为机器人的控制单元传感元件。