半导体连接用的Cu柱用圆柱状形成物
摘要:
本发明的课题是在半导体芯片上设置Cu柱来进行电连接时,与采用镀敷法形成Cu柱的方法相比,能够增大Cu柱的高度/直径比,提高生产率,增高Cu柱的高度,提高Cu柱的可靠性。本发明为解决该课题,预先将Cu柱用的材料形成为圆柱状形成物,并将该圆柱状形成物与半导体芯片上的电极连接以作为Cu柱。由此,能够使Cu柱的高度/直径比为2.0以上。由于不采用电镀法,因此制造Cu柱所需的时间短,能够提高生产率。另外,由于能够将Cu柱高度提高到200μm以上,因此很适合于模塑底部填充。由于能够自由地调整成分,因此能够容易地进行可靠性高的Cu柱的合金成分设计。
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