一种各向异性氮化钛陶瓷薄膜及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种各向异性氮化钛陶瓷薄膜及其制备方法,由统一晶格取向的单层氮化钛纳米层片晶粒构成,所述层片晶粒的(111)晶面平行于薄膜表面排列堆垛,形成具有织构取向的氮化钛陶瓷薄膜;制备方法包括以下步骤:(1)置于氢氟酸中,腐蚀得Ti3C2陶瓷粉末;(2)将陶瓷粉末清洗后超声剥离,得单层的Ti3C2纳米片;(3)将Ti3C2纳米片经离心,真空抽滤后得到Ti3C2陶瓷薄膜前驱体;(4)干燥后得到Ti3C2陶瓷薄膜;(5)将Ti3C2陶瓷薄膜高温氮化处理得目标产物;本发明通过对Ti3C2陶瓷薄膜前驱体进行热处理,在高温下实现原位氮化,得到导电性能好、硬度高,具有各向异性的氮化钛陶瓷薄膜。
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