发明公开

一种低能耗蓝宝石晶体生长炉
摘要:
本发明公开一种低能耗蓝宝石长晶炉,包括炉体、坩埚、加热系统、冷却器、换热器和控制器,加热系统用于炉体内部的加热,冷却器用于冷却循环水,换热器具有可进行热交换的循环水流道和保护气流道。本发明的蓝宝石长晶炉为较为环保的低能耗长晶炉,长晶炉内的加热系统可灵活调节,不需要完全包裹坩埚的加热元件,但是通过加热元件的不断移动,就能够保证坩埚达到所需的长晶温度,本发明的长晶炉还配有换热器,换热器用于保护气和冷却循环水之间的热量交换,利用冷却循环水的热量使充入炉体内的保护气升温,带有一定温度的保护气进入炉体内,能进一步提高炉内的保温效果,实现了坩埚冷却循环水热量的重新利用。
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