一种多层纳米空心阵列减反射膜及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种多层纳米空心阵列减反射膜及其制备方法。该减反射膜的内部是由排列整齐致密的纳米空心球单层二氧化硅和二氧化钛交替叠加构成的具有闭孔结构的多层膜,层数为2‑30层,最外层为致密封闭的二氧化硅膜层。其制备方法包括以下步骤:以正硅酸乙酯、去离子水、酸催化剂、无水乙醇为原料,制备溶胶A,向其中加入聚苯乙烯颗粒得到悬浮液C;以钛酸四丁酯、去离子水、无水乙醇、二乙醇胺为原料,制备溶胶B,向其中加入聚苯乙烯颗粒得到悬浮液D;将清洁后的玻璃在悬浮液C中进行提拉镀膜后退火,再将镀膜玻璃在悬浮液D中进行提拉镀膜后退火,重复该操作1‑25次;最后在溶胶A中进行提拉后退火,得到表面封闭、内部纳米空心阵列结构的减反射膜。
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