发明公开
CN106933067A 一种富含水的光阻残留物清洗液组合物
无效 - 撤回
- 专利标题: 一种富含水的光阻残留物清洗液组合物
- 专利标题(英): Water-rich cleaning solution composition for photoresist residue
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申请号: CN201511019286.9申请日: 2015-12-30
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公开(公告)号: CN106933067A公开(公告)日: 2017-07-07
- 发明人: 郑玢 , 刘兵 , 孙广胜 , 黄达辉
- 申请人: 安集微电子(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区碧波路889号1幢E座第1至第2层,以及第3层的部分区域
- 专利权人: 安集微电子(上海)有限公司
- 当前专利权人: 安集微电子(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区碧波路889号1幢E座第1至第2层,以及第3层的部分区域
- 代理机构: 北京大成律师事务所
- 代理商 李佳铭
- 主分类号: G03F7/42
- IPC分类号: G03F7/42
摘要:
本发明公开了一种去除光阻蚀刻残留物的清洗液组合物,其包含:(a)醇胺(b)溶剂(c)水(d)酚类化合物(e)表面活性剂。该清洗液组合物富含水且不含氟化物和羟胺,能够快速的去除由于硬烤、干法刻蚀、灰化和等离子注入引起复杂化学变化,而发生交联硬化的光刻胶,并且能够实现在去除金属线(Metal)、通孔(Via)和金属垫(Pad)晶圆上的光阻残留物的同时,对于基材(如金属铝,非金属二氧化硅等)基本没有攻击,特别是对于金属铝有良好的保护作用。本发明的清洗液在半导体晶片清洗等领域具有良好的应用前景。