一种富含水的光阻残留物清洗液组合物
摘要:
本发明公开了一种去除光阻蚀刻残留物的清洗液组合物,其包含:(a)醇胺(b)溶剂(c)水(d)酚类化合物(e)表面活性剂。该清洗液组合物富含水且不含氟化物和羟胺,能够快速的去除由于硬烤、干法刻蚀、灰化和等离子注入引起复杂化学变化,而发生交联硬化的光刻胶,并且能够实现在去除金属线(Metal)、通孔(Via)和金属垫(Pad)晶圆上的光阻残留物的同时,对于基材(如金属铝,非金属二氧化硅等)基本没有攻击,特别是对于金属铝有良好的保护作用。本发明的清洗液在半导体晶片清洗等领域具有良好的应用前景。
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