发明公开
- 专利标题: 用于显示设备的薄膜晶体管
- 专利标题(英): Thin film transistor for display device
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申请号: CN201610985215.2申请日: 2016-10-25
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公开(公告)号: CN106935654A公开(公告)日: 2017-07-07
- 发明人: 赵成民 , 具奭勋
- 申请人: 三星显示有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 康泉; 宋志强
- 优先权: 10-2015-0191445 20151231 KR
- 主分类号: H01L29/786
- IPC分类号: H01L29/786 ; H01L29/16
摘要:
所描述的技术大体上涉及用于显示设备的薄膜晶体管。示例性实施例提供了用于显示设备的薄膜晶体管,包括:基板;半导体,被布置在基板上,并且包括沟道以及布置在沟道的相对侧的源区和漏区;栅绝缘层,包括布置在基板和半导体上的第一栅绝缘层以及布置在第一栅绝缘层上并与沟道重叠的第二栅绝缘层;布置在第二栅绝缘层上的栅电极;直接布置在第一栅绝缘层和栅电极上的层间绝缘层;以及布置在层间绝缘层上并连接到半导体的源电极和漏电极,其中栅绝缘层的与栅电极重叠的部分的厚度可大于栅绝缘层的与源区重叠的部分的厚度以及栅绝缘层的与漏区重叠的部分的厚度。
IPC分类: