半导体装置及其制造方法
摘要:
提供了一种能够通过变化地调整具有环栅结构的晶体管的阈值电压来提高装置性能的半导体装置及其制造方法。所述半导体装置包括:基底,包括第一区域和第二区域;第一布线图案,设置在基底的第一区域上并且与基底分隔开;第二布线图案,设置在基底的第二区域上并且与基底分隔开;第一栅极绝缘膜,围绕第一布线图案的周边;第二栅极绝缘膜,围绕第二布线图案的周边;第一栅电极,设置在第一栅极绝缘膜上,与第一布线图案交叉,并且包括在其内的第一金属氧化物膜;第二栅电极,设置在第二栅极绝缘膜上并且与第二布线图案交叉;第一栅极间隔件,位于第一栅电极的侧壁上;第二栅极间隔件,位于第二栅电极的侧壁上。
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