一种微型定向超声换能器及其加工工艺
摘要:
本发明公开一种微型定向超声换能器,包括压电材料层,压电材料层顶面设置上电极,压电材料层底面设置下电极,上电极顶面覆盖绝缘层,下电极底面覆盖二氧化硅层,下电极底面通过硅衬底支撑;本发明还公开了该种微型定向超声换能器的加工工艺。本发明具有体积小,易集成,高效能的优点,适于在微型设备上使用;还可采用MEMS技术加工。
0/0