发明公开
- 专利标题: 一种微型定向超声换能器及其加工工艺
- 专利标题(英): Miniature directional ultrasonic transducer and processing technique thereof
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申请号: CN201710322352.2申请日: 2017-05-09
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公开(公告)号: CN106960903A公开(公告)日: 2017-07-18
- 发明人: 徐利梅 , 李学生 , 秦开宇 , 谢晓梅 , 其他发明人请求不公开姓名
- 申请人: 成都泰声科技有限公司
- 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)天目路77号12栋2单元4层425号
- 专利权人: 成都泰声科技有限公司
- 当前专利权人: 成都泰声科技有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)天目路77号12栋2单元4层425号
- 代理机构: 成都高远知识产权代理事务所
- 代理商 谢一平; 曾克
- 主分类号: H01L41/04
- IPC分类号: H01L41/04 ; H01L41/18 ; H01L41/22
摘要:
本发明公开一种微型定向超声换能器,包括压电材料层,压电材料层顶面设置上电极,压电材料层底面设置下电极,上电极顶面覆盖绝缘层,下电极底面覆盖二氧化硅层,下电极底面通过硅衬底支撑;本发明还公开了该种微型定向超声换能器的加工工艺。本发明具有体积小,易集成,高效能的优点,适于在微型设备上使用;还可采用MEMS技术加工。
IPC分类: