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公开(公告)号：CN112423902B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN201980029871.7
申请日：2019-02-28
申请人： 诺沃声波有限公司
摘要： 本申请描述了用于制造柔性超声换能器阵列或在制造柔性超声换能器阵列中使用的方法，以及得到的超声换能器阵列。该方法包括在箔衬底上提供压电材料层，并且采用增材技术将至少一个电极施加于压电材料的表面，使得电极以电极阵列布置。该方法还包括采用增材技术将多个导电线路和多个电连接器施加于压电材料的表面或施加于设在压电材料的表面上的电介质材料层，使得相应的导电线路将相应的电极电连接至相应的电连接器。增材技术包括掩模、沉积、光图形化、印刷或图形化涂覆中的至少一种。可选地，压电材料层包括已沉积在箔上的无机压电材料层。
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公开(公告)号：CN108140718B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN201680061378.X
申请日：2016-10-19
申请人： 罗伯特·博世有限公司
发明人： M·丘尔契奇
摘要： 本发明公开一种微机电系统(1)，该微机电系统具有压电驱动器(2)和控制装置(3)，该控制装置与压电驱动器耦合并且构造成用于基于压电驱动器的导纳(10)和/或阻抗的变化来操控压电驱动器。此外，本发明公开一种相应的控制方法。
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公开(公告)号：CN110337241B
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN201880012413.8
申请日：2018-01-15
申请人： 无线电系统公司
摘要： 描述了一种方法，该方法包括：接收与声学事件对应的经滤波信号；将一个或多个测试按顺序应用于经滤波信号，其中，该一个或多个测试中的每一个测试针对一个或多个特征的存在对经滤波信号进行评估，确定该一个或多个特征的存在包括无法将声学事件识别为第一事件；当一测试确定出一个或多个特征的存在时终止应用该一个或多个测试；以及当出现完成该一个或多个测试中的所有测试时，将声学事件识别为第一事件，完成所有测试包括各测试按该顺序均确定出不存在一个或多个特征。
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公开(公告)号：CN114094008A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202111250368.X
申请日：2021-10-26
申请人： 中南大学
IPC分类号： H01L41/23 , H01L41/312 , H01L41/04 , H01L41/053
摘要： 本发明公开了一种柔性压电纤维复合材料的二步封装方法，将待封装的叉指状电极或平面状电极和压电纤维复合层或粘贴在粘性高分子膜上的压电纤维阵列使用无水乙醇擦拭清理，然后与下电极有效区域重叠对齐之间加入聚合物胶液，形成第一步封装件，将导热金属层、缓冲层、第一步封装件、缓冲层、导热金属层按顺序摆放形成第一步封装合件，通过真空、加压、升温后分离，在与上电极重复以上操作，完成二步封装，得到柔性压电纤维复合材料。可实现柔性压电纤维复合材料的一体化成形封装，方法简单短时高效，具有高稳定性、高驱动传感性能，同时可针对柔性压电纤维复合材料使用需求，选择不同尺寸大小的叉指电极或平面电极进行一体化封装。
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公开(公告)号：CN110603903B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201880031899.X
申请日：2018-03-14
申请人： TDK电子股份有限公司 , 雷莱昂等离子有限责任公司
摘要： 本发明涉及一种用于产生非热的大气压等离子体的设备，所述设备具有：压电变压器（1）；操控电路（11），所述操控电路被设计为：将具有操控频率的交变电压作为输入电压施加到所述压电变压器（1）上；和场探头（15），所述场探头被设计为：测量由所述压电变压器（1）产生的电场的场强，其中，所述操控电路（11）被设计为：在考虑所述场探头（15）的测量结果的情况下使所述操控频率适配，使得所述场强最大化。根据另一方面，本发明涉及一种用于压电变压器的频率调节的方法。
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公开(公告)号：CN108463893B
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN201680074995.3
申请日：2016-10-20
申请人： 物理仪器(PI)两合有限公司
摘要： 本发明涉及用于激活机电元件(3)的至少一区段(特别是变化区段)的方法，包括步骤：提供机电元件，其中至少所述变化部分有至少两个彼此隔开的电极，电极之间布置有多个域的多晶和铁电或铁电压电材料，其中在初始状态下至少一些域的偏振方向彼此不同；通过施加具有限定振幅和持续时间的至少一个电压脉冲形式的电压在变化区段的电极间产生电场；由于至少一个电压脉冲，将具有彼此不同偏振方向的一些域变换成相同偏振方向状态，从而产生机电元件沿长度方向V的长度增加，该长度增加在无电压下被限定和保持，或者由于至少一个电压脉冲，将有相同偏振方向的一些域转换成有彼此不同偏振方向的状态，由此产生机电元件沿长度方向V的长度减小，该长度减小在不存在电压下限定和保持。本发明还涉及用该方法激活的机电元件作为调节元件，且涉及两个相对于彼此移动的元件(1,2)之间布置由该方法激活的机电元件。
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公开(公告)号：CN113707801A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202110985265.1
申请日：2021-08-26
申请人： 黑龙江迪米电陶科技有限公司
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/293 , H01L41/297 , H01L41/04
摘要： 本发明公开了叠层型压电陶瓷电极结构及其制造工艺，叠层型压电陶瓷电极结构，包括内部压电结构、包裹内部压电结构的外部保护结构；内部压电结构包括压电陶瓷材料薄膜、正极银钯层以及负极银钯层，正极银钯层和负极银钯层呈交替分布，正极银钯层和负极银钯层之间的中间介质为压电陶瓷材料薄膜；正极银钯层和负极银钯层的分布方向相反；外部保护结构包括上绝缘层、下绝缘层以及中间绝缘层。
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公开(公告)号：CN110291463B
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN201780086115.9
申请日：2017-12-19
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要： 本发明涉及一种控制装置(10)，用于致动致动器单元(11)以设定光刻设备(100A、100B)的光学元件(20)的位置(P)，所述控制装置具有：放大器单元(30)，通过电压信号(41)和PWM信号(42)提供致动器单元(11)的控制信号(40)，其中PWM信号(42)具有占空比(43)和时钟频率(51)；以及调制器单元(50)，设计为提供具有占空比(43)和来自多个限定的时钟频率(52)的限定的时钟频率(51)的PWM信号(42)，其中多个限定的时钟频率(52)中的限定的时钟频率(51)是基本时钟频率(f0)的整数倍，其中基本时钟频率(f0)是在10kHz‑1MHz的范围中并且整数倍限定为乘以因子n。
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公开(公告)号：CN113461439A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202010235103.1
申请日：2020-03-30
IPC分类号： C04B41/85 , C01B32/186 , H01L41/04
摘要： 本发明提供一种石墨烯‑陶瓷复合材料及其制备方法和应用，制备方法包括：提供一散热陶瓷基底；通入碳源，并在散热陶瓷基底上进行等离子体化学气相沉积反应生长石墨烯层；其中，石墨烯层为垂直取向。在等离子体化学气相沉积体系中，通过等离子体作用下引入气态碳源，可克服在无催化能力的陶瓷基底表面，仅能通过高温来提供前驱体裂解所需能量的壁垒，实现散热陶瓷基底上生长石墨烯，以获得同时具有良好的热导能力和散热能力的石墨烯‑陶瓷复合材料。所制备的石墨烯具有独特的三维结构，有助于水平和垂直两个方向上热量的传递。本发明的制备方法可实现三维石墨烯在陶瓷基底上直接快速均匀生长，无需转移工艺，避免了样品污染及褶皱等情况。
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公开(公告)号：CN112385055A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201980030945.9
申请日：2019-03-07
申请人： 珀莱特股份有限公司
IPC分类号： H01L41/04
摘要： 本发明涉及一种用于压电致动器(PEA)的电压的确定和施加以实现给定设定位移的方法和致动器系统。该方法涉及确定PEA位移测量结果(d)和电压(V)之间的关系dcal(V)，以及转换时间(tt)和电压之间的关系ttcal(V)，并结合所确定的关系来计算在初始校准过程中位移测量结果和转换时间之间的关系d(tt)。这种关系是PEA的特征，并且通过在PEA的反复偏压后确定新关系ttnew(V)，可以通过将ttnew(V)代入已算出的d(tt)来计算补偿关系dc(V)。补偿关系dc(V)补偿了由于磨损引起的压电蠕变效应，并且可用于直接确定将施加的电压，或用于其他补偿算法。
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