用于含铜和钛的金属层的蚀刻液组合物
摘要:
本发明涉及一种用于含铜和钛的金属层的蚀刻液组合物,基于组合物的总重量,包含:5wt%~20wt%的过硫酸盐,0.01wt%~2wt%的氟化合物,1wt%~10wt%的选自无机酸、无机酸盐及它们的混合物中的一种或多种,0.3wt%~5wt%的环状胺化合物,0.01wt%~5wt%的氯化合物,及其余为水。
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