发明公开
CN106995922A 用于含铜和钛的金属层的蚀刻液组合物
无效 - 驳回
- 专利标题: 用于含铜和钛的金属层的蚀刻液组合物
- 专利标题(英): COPPER AND TITANIUM COMPOSITION FOR METAL LAYER ETCHING SOLUTION
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申请号: CN201710033540.3申请日: 2011-04-28
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公开(公告)号: CN106995922A公开(公告)日: 2017-08-01
- 发明人: 林玟基 , 权五柄 , 李喻珍 , 刘仁浩 , 李俊雨 , 朴英哲 , 张尚勋
- 申请人: 东友精细化工有限公司
- 申请人地址: 韩国全罗北道
- 专利权人: 东友精细化工有限公司
- 当前专利权人: 东友精细化工有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国全罗北道
- 代理机构: 北京派特恩知识产权代理有限公司
- 代理商 李雪; 姚开丽
- 优先权: 10-2010-0039822 20100429 KR 10-2010-0040567 20100430 KR
- 主分类号: C23F1/42
- IPC分类号: C23F1/42 ; H01L21/3213
摘要:
本发明涉及一种用于含铜和钛的金属层的蚀刻液组合物,基于组合物的总重量,包含:5wt%~20wt%的过硫酸盐,0.01wt%~2wt%的氟化合物,1wt%~10wt%的选自无机酸、无机酸盐及它们的混合物中的一种或多种,0.3wt%~5wt%的环状胺化合物,0.01wt%~5wt%的氯化合物,及其余为水。
IPC分类: