一种发射电流可控的小型化非放射性电子源
摘要:
本发明涉及真空电子技术领域,一种发射电流可控的小型化非放射性电子源,主要包括加速电压源、电流表、抽取电压源、灯丝加热电流源、灯丝、抽取栅格、加速电极、氮化硅膜、真空腔,抽取栅格位于真空腔内的灯丝前面1毫米处,真空腔另一端为加速电极,氮化硅膜贴附于真空腔外的加速电极的中心开口处,加速电压源使得从灯丝发射出的电子加速并获得动能,调节抽取电压源能够控制真空腔内部电子束的聚焦或散焦,抽取栅格至加速电极之间为加速区域且长度5毫米,灯丝工作时电流0至300mA,在灯丝和抽取栅格之间的电子抽取电场独立于加速电场,使得可以调节灯丝的电流和抽取电场来控制电子发射,氮化硅膜为1×1平方毫米且厚度250纳米。
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