- 专利标题: 一种基于光学相移的跨尺度表面形貌测量装置及方法
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申请号: CN201710250709.0申请日: 2017-04-17
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公开(公告)号: CN107036552B公开(公告)日: 2019-04-12
- 发明人: 翟中生 , 张艳红 , 吕清花 , 汪于涛 , 周立 , 程壮 , 王选择 , 杨练根
- 申请人: 湖北工业大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市武昌区南湖李家墩1村1号
- 专利权人: 湖北工业大学
- 当前专利权人: 凌云科技集团有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市武昌区南湖李家墩1村1号
- 代理机构: 武汉科皓知识产权代理事务所
- 代理商 魏波
- 主分类号: G01B11/24
- IPC分类号: G01B11/24
摘要:
本发明公开了一种基于光学相移的跨尺度表面形貌测量装置及方法,装置包括计算机、光强可控式白光光源、第一透镜、滤光片旋转盘、分光棱镜、第二透镜、第三透镜、CCD相机、空间光调制器SLM、第四透镜;本发明利用纯相位调制式液晶空间光调制器实现精确的光学相移,应用光强可调的白光光源和四个带通滤波片得到四种光强分布一致的单色光,并利用多波长干涉的原理,通过合理尺寸衔接实现测量范围的拓展。在重复光学相移中,以轮换滤光片方式获取不同波长的干涉图像序列,并运用优化的四步相移法进行逐点逐帧相位运算,得到大尺度范围内形貌点高度。本发明既能满足跨尺度的测量范围要求,又能保持单波长干涉的纳米精度,具有重要的应用价值。
公开/授权文献
- CN107036552A 一种基于光学相移的跨尺度表面形貌测量装置及方法 公开/授权日:2017-08-11