发明授权
- 专利标题： 点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法
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申请号： CN201710155972.1申请日： 2017-03-16
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公开(公告)号： CN107036789B公开(公告)日： 2019-02-26
- 发明人: 唐锋 , 王向朝 , 冯鹏
- 申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 申请人地址： 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
- 专利权人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人地址： 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
- 代理机构： 上海恒慧知识产权代理事务所
- 代理商 张宁展
- 主分类号： G01M11/02
- IPC分类号： G01M11/02
摘要：
一种点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法，干涉仪的构成包括：光源、第一分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、点光源发生单元、理想波前发生单元、待测光学系统、精密调节台、小孔光窗器件、第二分光器、二维光电探测器和数据处理单元。本发明具有测量空间分辨率高、干涉条纹密度可调、能够利用相移、空间载波相移等多种干涉相位提取算法、能够标定干涉仪系统误差和干涉对比度可调等优点。
公开/授权文献
- CN107036789A 点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法 公开/授权日：2017-08-11