发明公开
CN107063641A 一种无损评价光学元件损伤性能的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种无损评价光学元件损伤性能的方法
- 专利标题(英): Method for realizing lossless evaluation for damage performance of optical element
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申请号: CN201710027947.5申请日: 2017-01-16
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公开(公告)号: CN107063641A公开(公告)日: 2017-08-18
- 发明人: 刘红婕 , 蒋晓东 , 王凤蕊 , 黄进 , 耿峰 , 叶鑫 , 孙来喜 , 黎维华 , 罗青
- 申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 申请人地址: 四川省绵阳市绵山路64号
- 专利权人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 当前专利权人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 当前专利权人地址: 四川省绵阳市绵山路64号
- 代理机构: 绵阳市博图知识产权代理事务所
- 代理商 邓昉
- 主分类号: G01M11/02
- IPC分类号: G01M11/02 ; G01N21/64
摘要:
本发明公开了一种无损评价光学元件损伤性能的方法,连续激光器能发出连续激光,经第一能量调节器、第一透镜、反射镜、样品正面后,照射到样品背面,连续激光经样品反射的反射方向上设有残余激光收集器;脉冲激光器能发出脉冲激光,经第二能量调节器、缩束系统、劈板、第二透镜后,照射到样品背面。本发明通过对于待测光学元件相同的元件,进行多样品、多位置的测试,获得此类光学元件中,荧光缺陷数据与激光损伤阈值和损伤密度的关联关系,从而对待测样品进行测量时,通过测量其荧光缺陷数据,从而推算出损伤阈值和损伤密度。该方法可以通过无损检测光学元件的荧光缺陷获得光学元件的损伤性能水平,实现光学元件损伤性能的无损评价。
公开/授权文献
- CN107063641B 一种无损评价光学元件损伤性能的方法 公开/授权日:2018-12-18