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公开(公告)号:CN115826227A
公开(公告)日:2023-03-21
申请号:CN202211455581.9
申请日:2022-11-21
申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要: 本发明涉及一种光学系统非金属密封材料的洁净处理方法和评价方法,解决了真空环境中光学元件易受非金属密封材料污染的问题,本发明通过第一遍清洗、真空烘烤以及第二遍清洗,对光学系统中非金属密封材料进行洁净处理,使得非金属密封材料的污染得到有效去除,实现非金属密封材料的彻底洁净。本发明的洁净处理方法,处理效果好,具有可靠、经济、高效的特点,处理后的材料对光学系统影响小,能够确保光学元件维持较高光学特性。
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公开(公告)号:CN110927170B
公开(公告)日:2022-03-08
申请号:CN201911226014.4
申请日:2019-12-04
申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号: G01N21/88
摘要: 本发明提供了一种缺陷确定方法、装置以及系统,通过先确定待测元件表面是否存在参考缺陷点,若存在,则对所确定的参考缺陷点进行预设激光辐照处理,将预设激光辐照处理过程中荧光信号强度的降低量低于第一预设值且散射光信号强度的降低量低于第二预设值的参考缺陷点确定为待测元件表面的目标缺陷点,目标缺陷点即为元件表面低损伤阈值缺陷,有效地实现了对元件表面低损伤阈值缺陷的定位,有利于去除元件表面低损伤阈值缺陷,提高元件的激光损伤性能。
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公开(公告)号:CN108613956B
公开(公告)日:2021-01-05
申请号:CN201810440691.5
申请日:2018-05-09
申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号: G01N21/64
摘要: 一种气体检测装置、传感器、光子晶体及其制备方法,属于传感器领域。用于作为传感器的敏感元件的光子晶体包括第一单元和第二单元。第一单元为连续相,第一单元内均匀分布有多个孔隙,第二单元为分散相,第二单元分散在第一单元的多个孔隙内,第二单元与第一单元的介电常数不同,第二单元能够与传感器的气体检测装置作用而改变光子晶体的光学特性。利用光子晶体传感器能够实现对气体材料的响应,从而完成对气体的检测。
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公开(公告)号:CN111283340A
公开(公告)日:2020-06-16
申请号:CN202010249207.8
申请日:2020-04-01
申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号: B23K26/60
摘要: 本发明提供了一种激光预处理系统及方法,该系统包括:激光脉冲产生装置以及用于放置目标光学元件的样品台。其中,激光脉冲产生装置用于输出预设整形激光脉冲,照射到放置于样品台上的目标光学元件,对目标光学元件表面进行激光预处理,预设整形激光脉冲包括在前的第一子脉冲和在后的第二子脉冲,第一子脉冲的脉宽大于第二子脉冲的脉宽,且第一子脉冲的最大强度小于第二子脉冲的最大强度。通过预设整形激光脉冲进行激光预处理,能够有效地提升对目标光学元件的激光预处理效果。
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公开(公告)号:CN111208064A
公开(公告)日:2020-05-29
申请号:CN202010150613.9
申请日:2020-03-06
申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 浙江大学
摘要: 本发明公开了一种光学元件亚表面缺陷快速检测装置和检测方法,其中,检测装置包括用于放置待测光学元件的样品台,用于对光学元件进行扫描的成像模块,用于控制样品台、监测成像模块并采集成像模块图像的控制系统,以及对采集图像进行拼接的图像处理系统;所述的成像模块包括散射成像模块、荧光成像模块以及共聚焦荧光成像模块。利用本发明,不仅可以得到光学元件全口径的散射图像、荧光图像以及光致发光亚表面缺陷图像;也可以获得缺陷的分布、位置、强度、大小、密度等信息;同时可对关键缺陷区域通过共聚焦模式进行定位及高分辨精检,获得关键缺陷的深度信息,从而为光学元件亚表面缺陷分布提供全面的三维分布特征信息。
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公开(公告)号:CN107063641A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201710027947.5
申请日:2017-01-16
申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
CPC分类号: G01M11/00 , G01N21/6402
摘要: 本发明公开了一种无损评价光学元件损伤性能的方法,连续激光器能发出连续激光,经第一能量调节器、第一透镜、反射镜、样品正面后,照射到样品背面,连续激光经样品反射的反射方向上设有残余激光收集器;脉冲激光器能发出脉冲激光,经第二能量调节器、缩束系统、劈板、第二透镜后,照射到样品背面。本发明通过对于待测光学元件相同的元件,进行多样品、多位置的测试,获得此类光学元件中,荧光缺陷数据与激光损伤阈值和损伤密度的关联关系,从而对待测样品进行测量时,通过测量其荧光缺陷数据,从而推算出损伤阈值和损伤密度。该方法可以通过无损检测光学元件的荧光缺陷获得光学元件的损伤性能水平,实现光学元件损伤性能的无损评价。
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公开(公告)号:CN104324923A
公开(公告)日:2015-02-04
申请号:CN201410500521.3
申请日:2014-09-26
申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号: B08B11/02
CPC分类号: B08B11/02
摘要: 本发明公开了一种清洗夹持装置,属于光学元件洁净工程领域,所述的装置适用于多种形状,各种口径的光学元件夹持。本发明装置包括吊装梁、承重梁、夹持梁,其中下夹持梁中心设置有调节V形槽,配合调节螺杆和螺母可以实现调节V形槽内外向控制,以适用于不同尺寸规格的光学元件,吊装梁、承重梁和夹持梁全部采用整体设计。本发明所有材料均采用聚四氟乙烯材料。本发明装置在清洗过程中不会残留任何清洗残渣,光学元件在提出液面液体可以顺着夹持装置和元件侧面引流,避免了对光学元件的污染,尤其适用于腐蚀性清洗环境,具有操作简单,使用灵活方便的优势。
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公开(公告)号:CN101781086A
公开(公告)日:2010-07-21
申请号:CN201010028095.X
申请日:2010-01-15
申请人: 电子科技大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号: C03B29/00
摘要: 一种熔石英光学损伤元件的修复方法,属于光学材料与光学元件技术领域,具体涉及一种熔石英光学元件激光损伤的修复处理方法。先采用红外二氧化碳激光对熔石英光学损伤元件的损伤部分进行激光熔融修复;再将激光熔融修复后的熔石英光学损伤元件进行退火处理。本发明可对熔石英光学损伤元件进行完全修复,并消除激光熔融修复过程带来的残余应力。经本发明修复后的熔石英光学元件可回复到理想熔石英光学元件状态;同时,本发明还可抑制熔石英光学元件损伤点的增长。本发明可延长熔石英光学元件的使用寿命,大大降低运行成本,具有工艺可控性强、重复性高且性能稳定的特点。
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公开(公告)号:CN108490598B
公开(公告)日:2024-03-19
申请号:CN201810273557.0
申请日:2018-03-29
申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要: 本申请提供一种光学元件体散射缺陷探测装置,光学元件为长方体结构,包括多个光束照射面;光学元件体散射缺陷探测装置包括光源、三维平移台、分光单元、照明系统及成像系统,光源用于发出光束L0;三维平移台用于承载和平移光学元件;分光单元用于将光束L0分为两束光束;照明系统用于将两束光束分为多束光束后垂直入射多个光束照射面,以形成多光束交叠照明区域;成像系统用于对多光束交叠照明区域进行成像。本申请提供的光学材料体散射缺陷探测装置及探测方法可实现对体缺陷多角度照明,从而获得材料体内大部分缺陷的清晰成像,对于判断材料质量具有重要参考价值。
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公开(公告)号:CN117346889A
公开(公告)日:2024-01-05
申请号:CN202311408505.7
申请日:2020-03-26
申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要: 本发明涉及一种超表面光谱传感系统、确定方法及光谱仪。所述超表面光谱传感系统包括:面阵探测器和超表面分光系统,所述超表面分光系统包括多个超表面单元;多个所述超表面单元设置在所述面阵探测器的上表面;每个所述超表面单元均包括多个相同的超原子;所述超表面单元用于针对设定谐振波长值透过率和非设定谐振波长值透过率不同,起到分光的作用;一个所述超表面单元对应一个设定谐振波长值;所述面阵探测器用于探测所述超表面单元透过的光。本发明通过在面阵探测器上表面设置集成化的超表面分光系统,以缩小光谱传感系统的体积,进而减小光谱仪的体积,实现光谱仪的小型化。
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