激光预处理系统及方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111283340A

    公开(公告)日:2020-06-16

    申请号:CN202010249207.8

    申请日:2020-04-01

    IPC分类号: B23K26/60

    摘要: 本发明提供了一种激光预处理系统及方法,该系统包括:激光脉冲产生装置以及用于放置目标光学元件的样品台。其中,激光脉冲产生装置用于输出预设整形激光脉冲,照射到放置于样品台上的目标光学元件,对目标光学元件表面进行激光预处理,预设整形激光脉冲包括在前的第一子脉冲和在后的第二子脉冲,第一子脉冲的脉宽大于第二子脉冲的脉宽,且第一子脉冲的最大强度小于第二子脉冲的最大强度。通过预设整形激光脉冲进行激光预处理,能够有效地提升对目标光学元件的激光预处理效果。

    一种光学元件亚表面缺陷快速检测装置和检测方法

    公开(公告)号:CN111208064A

    公开(公告)日:2020-05-29

    申请号:CN202010150613.9

    申请日:2020-03-06

    IPC分类号: G01N21/01 G01N21/95

    摘要: 本发明公开了一种光学元件亚表面缺陷快速检测装置和检测方法,其中,检测装置包括用于放置待测光学元件的样品台,用于对光学元件进行扫描的成像模块,用于控制样品台、监测成像模块并采集成像模块图像的控制系统,以及对采集图像进行拼接的图像处理系统;所述的成像模块包括散射成像模块、荧光成像模块以及共聚焦荧光成像模块。利用本发明,不仅可以得到光学元件全口径的散射图像、荧光图像以及光致发光亚表面缺陷图像;也可以获得缺陷的分布、位置、强度、大小、密度等信息;同时可对关键缺陷区域通过共聚焦模式进行定位及高分辨精检,获得关键缺陷的深度信息,从而为光学元件亚表面缺陷分布提供全面的三维分布特征信息。

    一种无损评价光学元件损伤性能的方法

    公开(公告)号:CN107063641A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201710027947.5

    申请日:2017-01-16

    IPC分类号: G01M11/02 G01N21/64

    CPC分类号: G01M11/00 G01N21/6402

    摘要: 本发明公开了一种无损评价光学元件损伤性能的方法,连续激光器能发出连续激光,经第一能量调节器、第一透镜、反射镜、样品正面后,照射到样品背面,连续激光经样品反射的反射方向上设有残余激光收集器;脉冲激光器能发出脉冲激光,经第二能量调节器、缩束系统、劈板、第二透镜后,照射到样品背面。本发明通过对于待测光学元件相同的元件,进行多样品、多位置的测试,获得此类光学元件中,荧光缺陷数据与激光损伤阈值和损伤密度的关联关系,从而对待测样品进行测量时,通过测量其荧光缺陷数据,从而推算出损伤阈值和损伤密度。该方法可以通过无损检测光学元件的荧光缺陷获得光学元件的损伤性能水平,实现光学元件损伤性能的无损评价。

    一种清洗夹持装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104324923A

    公开(公告)日:2015-02-04

    申请号:CN201410500521.3

    申请日:2014-09-26

    IPC分类号: B08B11/02

    CPC分类号: B08B11/02

    摘要: 本发明公开了一种清洗夹持装置,属于光学元件洁净工程领域,所述的装置适用于多种形状,各种口径的光学元件夹持。本发明装置包括吊装梁、承重梁、夹持梁,其中下夹持梁中心设置有调节V形槽,配合调节螺杆和螺母可以实现调节V形槽内外向控制,以适用于不同尺寸规格的光学元件,吊装梁、承重梁和夹持梁全部采用整体设计。本发明所有材料均采用聚四氟乙烯材料。本发明装置在清洗过程中不会残留任何清洗残渣,光学元件在提出液面液体可以顺着夹持装置和元件侧面引流,避免了对光学元件的污染,尤其适用于腐蚀性清洗环境,具有操作简单,使用灵活方便的优势。

    一种熔石英光学损伤元件的修复方法

    公开(公告)号:CN101781086A

    公开(公告)日:2010-07-21

    申请号:CN201010028095.X

    申请日:2010-01-15

    IPC分类号: C03B29/00

    摘要: 一种熔石英光学损伤元件的修复方法,属于光学材料与光学元件技术领域,具体涉及一种熔石英光学元件激光损伤的修复处理方法。先采用红外二氧化碳激光对熔石英光学损伤元件的损伤部分进行激光熔融修复;再将激光熔融修复后的熔石英光学损伤元件进行退火处理。本发明可对熔石英光学损伤元件进行完全修复,并消除激光熔融修复过程带来的残余应力。经本发明修复后的熔石英光学元件可回复到理想熔石英光学元件状态;同时,本发明还可抑制熔石英光学元件损伤点的增长。本发明可延长熔石英光学元件的使用寿命,大大降低运行成本,具有工艺可控性强、重复性高且性能稳定的特点。