提高多晶硅片刻蚀绒面均匀性的预处理装置及其处理方法
摘要:
本发明提供了提高多晶硅片刻蚀绒面均匀性的预处理装置,包括一容纳有恒温水的恒温槽及设置于恒温槽内的传输滚轮,所述传输滚轮置于所述恒温水下,待刻蚀硅片置于所述传输滚轮上,所述传输滚轮转动,带动所述待刻蚀硅片运动,所述装置还包括一与所述恒温槽的出口端联通的恒温风干机构。本发明的有益效果体现在:将需要刻蚀的多晶硅片预先保持在温度为8‑10℃,与刻蚀槽温度相当,可以大大提高多晶硅片绒面的片内均匀性与片间均匀性,降低电池片的色差片比例,提高电池片的合格率。
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