发明公开
- 专利标题： 烧结体
- 专利标题（英）： Sintered body
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申请号： CN201580050549.4申请日： 2015-11-18
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公开(公告)号： CN107074663A公开(公告)日： 2017-08-18
- 发明人: 矢野豊彦 , 吉田克己 , 津之浦彻 , 重吉勇二
- 申请人： 日本钇股份有限公司
- 申请人地址： 日本福冈县
- 专利权人： 日本钇股份有限公司
- 当前专利权人： 日本钇股份有限公司
- 当前专利权人地址： 日本福冈县
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 刘凤岭; 陈建全
- 优先权： 2014-236303 20141121 JP
- 国际申请： PCT/JP2015/082452 2015.11.18
- 国际公布： WO2016/080459 JA 2016.05.26
- 进入国家日期： 2017-03-20
- 主分类号： C04B35/553
- IPC分类号： C04B35/553 ; C04B35/50 ; H01L21/3065
摘要：
本发明涉及一种烧结体，其含有钇氟氧化物。钇氟氧化物优选为YOF和/或Y5O4F7。本发明的烧结体优选含有50质量％以上的钇氟氧化物。本发明的烧结体优选相对密度为70％以上，而且优选开口气孔率为10％以下。另外，本发明的烧结体还优选3点弯曲强度为10MPa～300MPa。
公开/授权文献
- CN107074663B 烧结体 公开/授权日：2018-06-19
IPC分类:
