制造图案化基底的方法
摘要:
提供了制造图案化基底的方法。该方法可以应用于装置如电子器件或集成电路的制造过程,或者应用于另一些用途例如制造集成光学系统、磁畴存储器的引导和检测图案、平板显示器、LCD、薄膜磁头或有机发光二极管;并且该方法可用于在用来制造离散磁道介质如集成电路、位元图案化介质和/或磁存储装置如硬盘驱动器的表面上构造图案。
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