发明授权

曝光装置
摘要:
本发明提供在对带状的工件实施曝光处理的情况下,无需复杂的工序就能够精度良好地实施曝光处理的曝光装置。曝光装置具备:工件输送机构(20),其输送带状的工件(1);曝光光源(30),其产生曝光光;光掩模(40),其具有在与工件(1)的宽度方向的端部(1a、1b)对置的位置配置的透射窗(42a~42c);拍摄机构(60a~60c),其拍摄透射窗(42a~42c);以及位置调整机构(51、52),其调整工件(1)与光掩模(40)的位置关系,所述曝光装置构成为:能够根据由拍摄机构(60a~60c)拍摄得到的、透射窗(42a~42c)的位置与从透射窗(42a~42c)识别到的工件(1)的端部(1a、1b)的位置之间的关系,调整工件(1)与光掩模(40)的位置关系,以使工件(1)与光掩模(40)的位置关系成为目标的位置关系。
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