发明公开
CN107086260A 一种倒装LED芯片结构及其制作方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 一种倒装LED芯片结构及其制作方法
- 专利标题(英): Flip LED chip structure and manufacturing method thereof
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申请号: CN201710251224.3申请日: 2017-04-18
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公开(公告)号: CN107086260A公开(公告)日: 2017-08-22
- 发明人: 王钢 , 劳裕钦 , 马学进 , 马艳飞 , 陈梓敏 , 范冰丰 , 闫林超
- 申请人: 中山大学 , 佛山市中山大学研究院
- 申请人地址: 广东省广州市新港西路135号;
- 专利权人: 中山大学,佛山市中山大学研究院
- 当前专利权人: 中山大学,佛山市中山大学研究院
- 当前专利权人地址: 广东省广州市新港西路135号;
- 代理机构: 广州圣理华知识产权代理有限公司
- 代理商 顿海舟; 李唐明
- 优先权: 2016106827159 20160817 CN
- 主分类号: H01L33/20
- IPC分类号: H01L33/20 ; H01L33/00
摘要:
本发明提供了一种倒装LED芯片结构及其制作方法。倒装LED芯片结构包括:三维图形结构、蓝宝石衬底、半导体材料层、N电极、接触反射层、绝缘隔离层、P电极和焊接电极10;所述半导体材料层包括N型半导体材料、发光层和P型半导体材料。在蓝宝石衬底表面形成掩膜材料,再用光刻蚀刻的方法将光刻胶图案制作在掩膜上,蚀刻掩膜,去除光刻胶,在衬底表面形成三维图形结构掩膜层,再用蚀刻的方法在衬底表面形成三维图形结构,最后清除掩膜。本发明可以根据特定应用场景的光源要求,对倒装LED芯片的蓝宝石衬底出光面进行光学设计与加工,制作出单个的、周期性的或者非周期性的三维光学图形,从而实现所需的光源要求。
IPC分类: