一种高纯、高烧结活性氧化铟锡混合粉体的制备方法
Abstract:
本发明公开一种高烧结活性氧化铟锡混合粉体的制备方法,具体步骤包括:高活性纳米SnO2粉的制备:先将复合分散剂溶于水,再加入适量SnCl4,搅拌至完全透明,澄清;保持搅拌并加入适量的氨水生成含锡的前驱体,将前驱体置于高压反应釜中进行水热处理后,取出沉淀物经反复洗涤、干燥及低温热处理,即得到纳米SnO2粉;将金属铟溶于盐酸中,生成InCl3水溶液,用上述类似合成SnO2粉体方法来制得纳米In2O3粉;将上述制得的In2O3与SnO2按比例混合,加入PVA,利用喷雾干燥工艺获得硬团聚少,流动性好,易于压制成型的混合铟锡氧化物造粒粉体,可适用于制备高端ITO靶材。
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