一种检测玻璃面板表面缺陷的系统及方法
摘要:
本发明提供一种检测玻璃面板表面缺陷系统及方法,本发明将单透镜、远心光路与相位测量偏折术相结合,通过设置编码面结构光显示设备、分束镜、玻璃面板待测表面和图像采集装置在空间的位置使之满足反射定律,在编码面结构光显示设备与分束镜之间设置透镜,并使得编码面结构光显示设备位于透镜的物方焦平面上,通过计算机控制产生相互垂直的标准N步相移面结构光至玻璃面板待测表面,采集图像后经后端图像处理设备处理得到变形面结构光的调制度分布、最佳梯度分布与最佳高度分布。本发明解决了基于相位测量偏折术的传统系统在缺陷检测时由于系统多义性引起的相位与高度信息不准确的问题,进而提高玻璃面板表面缺陷检测的精度与准确度。
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