本发明公开了一种基于反射时域波形加窗的太赫兹成像方法，包括以下内容：采用反射模式下的太赫兹时域光谱成像系统，对样本进行扫描，获得样本扫描平面内每一空间点的反射时域波形，对完整的反射时域波形进行去除样本上表面反射脉冲操作后，进行太赫兹C扫描水平成像，提取缺陷区域和非缺陷区域的反射时域波形，并对缺陷区域进行太赫兹B扫描截面成像，结合两者信息，分析样本内含缺陷的个数及深度位置，对反射时域波形进行加窗处理后采用太赫兹C扫描水平成像,即对样本进行分层切片成像，更直观地分析样本内部不同层间的缺陷形状和面积。此方法有效地提高了太赫兹波对样本内部层间结构和隐藏缺陷的检测能力。