- 专利标题： 用于多重图案化技术的设计规则检查的方法和系统
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申请号： CN201710023966.0申请日： 2017-01-13
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公开(公告)号： CN107145618B公开(公告)日： 2021-02-26
- 发明人: 徐孟楷 , 侯元德 , 陈文豪
- 申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址： 中国台湾新竹
- 专利权人： 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人： 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾新竹
- 代理机构： 北京德恒律治知识产权代理有限公司
- 代理商 章社杲; 李伟
- 优先权： 15/057,999 2016.03.01 US
- 主分类号： G06F30/398
- IPC分类号： G06F30/398 ; G06F119/18
摘要：
本发明的实施例公开了一种用于多重图案化技术的设计规则检查的方法，包括：确定是否存在表示集成电路(IC)的布局的多重图案化的图案的至少五个邻近的图案中的任意两个之间的每一个间隔都小于阈值间隔的冲突图形；以及如果存在冲突图形，则修改多重图案化的图案以排除由冲突图形表示的图案，以用于IC的制造。本发明的实施例还公开了一种用于多重图案化技术的设计规则检查的系统。
公开/授权文献
- CN107145618A 用于多重图案化技术的设计规则检查的方法和系统 公开/授权日：2017-09-08
