发明公开
- 专利标题: 快门单元、光刻装置及物品的制造方法
- 专利标题(英): SHUTTER UNIT, LITHOGRAPHY APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE
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申请号: CN201710107214.2申请日: 2017-02-27
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公开(公告)号: CN107153327A公开(公告)日: 2017-09-12
- 发明人: 幡本淳
- 申请人: 佳能株式会社
- 申请人地址: 日本东京都大田区下丸子3-30-2
- 专利权人: 佳能株式会社
- 当前专利权人: 佳能株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都大田区下丸子3-30-2
- 代理机构: 北京怡丰知识产权代理有限公司
- 代理商 迟军
- 优先权: 2016-041489 20160303 JP
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20
摘要:
本发明提供一种快门单元、光刻装置及物品的制造方法。提供一种用于光刻装置的打开和关闭光的光路的快门单元。快门单元包括可旋转地驱动沿着电机的旋转轴线延伸的轴的电机,以及附装到所述轴的多个快门构件,各个快门构件包括遮光部和透光部。快门单元还包括隔板,其被布置在快门构件之间的位置处,以避开光束通过的部分,并且,被构造为遮挡从前段的快门构件泄漏的光。
公开/授权文献
- CN107153327B 快门单元、光刻装置及物品的制造方法 公开/授权日:2019-05-10
IPC分类: