Invention Publication
- Patent Title: 光源装置以及具备该光源装置的曝光装置
- Patent Title (English): Light source device and exposure device provided with the light source device
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Application No.: CN201710127754.7Application Date: 2017-03-06
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Publication No.: CN107168016APublication Date: 2017-09-15
- Inventor: 松岛竹夫 , 多田元典 , 上原理彰 , 木下顺一
- Applicant: 优志旺电机株式会社
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 优志旺电机株式会社
- Current Assignee: 优志旺电机株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 永新专利商标代理有限公司
- Agent 房永峰
- Priority: 2016-043666 20160307 JP
- Main IPC: G03F7/20
- IPC: G03F7/20

Abstract:
光源装置具备:光源部,具有包含出射第一波长的光的多个LED元件在内的第一光放射区域、以及包含出射与上述第一波长不同的第二波长的光的多个LED元件在内的第二光放射区域;光检测部,检测第一波长的光的强度;以及控制部,构成为能够对于第一光放射区域以及第二光放射区域分别独立地进行通电的接通、断开控制。控制部具有存储部,该存储部存储有关于第一波长的光的目标累计光量即第一目标累计光量的信息,在基于由光检测部检测出的上述第一波长的光的强度而计算出的累计光量达到第一目标累计光量时,与针对第二光放射区域的通电的控制独立地进行使针对第一光放射区域的通电停止的控制。
Public/Granted literature
- CN107168016B 光源装置以及具备该光源装置的曝光装置 Public/Granted day:2020-05-19
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IPC分类: