光源装置以及具备该光源装置的曝光装置

    公开(公告)号:CN107168016A

    公开(公告)日:2017-09-15

    申请号:CN201710127754.7

    申请日:2017-03-06

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 光源装置具备:光源部,具有包含出射第一波长的光的多个LED元件在内的第一光放射区域、以及包含出射与上述第一波长不同的第二波长的光的多个LED元件在内的第二光放射区域;光检测部,检测第一波长的光的强度;以及控制部,构成为能够对于第一光放射区域以及第二光放射区域分别独立地进行通电的接通、断开控制。控制部具有存储部,该存储部存储有关于第一波长的光的目标累计光量即第一目标累计光量的信息,在基于由光检测部检测出的上述第一波长的光的强度而计算出的累计光量达到第一目标累计光量时,与针对第二光放射区域的通电的控制独立地进行使针对第一光放射区域的通电停止的控制。

    光源装置以及具备该光源装置的曝光装置

    公开(公告)号:CN107168016B

    公开(公告)日:2020-05-19

    申请号:CN201710127754.7

    申请日:2017-03-06

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 光源装置具备:光源部,具有包含出射第一波长的光的多个LED元件在内的第一光放射区域、以及包含出射与上述第一波长不同的第二波长的光的多个LED元件在内的第二光放射区域;光检测部,检测第一波长的光的强度;以及控制部,构成为能够对于第一光放射区域以及第二光放射区域分别独立地进行通电的接通、断开控制。控制部具有存储部,该存储部存储有关于第一波长的光的目标累计光量即第一目标累计光量的信息,在基于由光检测部检测出的上述第一波长的光的强度而计算出的累计光量达到第一目标累计光量时,与针对第二光放射区域的通电的控制独立地进行使针对第一光放射区域的通电停止的控制。

    高压放电灯点灯装置及投影仪

    公开(公告)号:CN102026454B

    公开(公告)日:2014-11-26

    申请号:CN201010275875.4

    申请日:2010-09-07

    IPC分类号: H05B41/24 G03B21/20

    摘要: 一种高压放电灯点灯装置及投影仪,抑制以极低的电力使高压放电灯动作的情况下从极低的电力转变至额定电力时的中断。从具有降压斩波电路和全桥电路的点灯装置向高压放电灯供电进行点灯。以额定电力或调光电力点灯时,将矩形波交流电流供给于放电灯进行点灯。此外,以额定消耗电力的50%以下进行点灯时,灯驱动交流电流IL由第一时间单位和第二时间单位构成,交替反复驱动上述放电灯,第一时间单位为时间宽度t1,第二时间单位反复5次以上时间宽度t2而成,从而不会损耗进行阳极动作的电极前端的突起,抑制向额定电力模式转变时的中断。

    高压放电灯点灯装置及投影仪

    公开(公告)号:CN102026454A

    公开(公告)日:2011-04-20

    申请号:CN201010275875.4

    申请日:2010-09-07

    IPC分类号: H05B41/24 G03B21/20

    摘要: 一种高压放电灯点灯装置及投影仪,抑制以极低的电力使高压放电灯动作的情况下从极低的电力转变至额定电力时的中断。从具有降压斩波电路和全桥电路的点灯装置向高压放电灯供电进行点灯。以额定电力或调光电力点灯时,将矩形波交流电流供给于放电灯进行点灯。此外,以额定消耗电力的50%以下进行点灯时,灯驱动交流电流IL由第一时间单位和第二时间单位构成,交替反复驱动上述放电灯,第一时间单位为时间宽度t1,第二时间单位反复5次以上时间宽度t2而成,从而不会损耗进行阳极动作的电极前端的突起,抑制向额定电力模式转变时的中断。