发明授权
- 专利标题: 基板检查装置及基板检查方法
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申请号: CN201710144128.9申请日: 2017-03-10
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公开(公告)号: CN107192913B公开(公告)日: 2019-11-12
- 发明人: 笹岑敬一郎 , 斋藤智一 , 土田宪吾
- 申请人: 雅马哈精密科技株式会社
- 申请人地址: 日本静冈县
- 专利权人: 雅马哈精密科技株式会社
- 当前专利权人: 雅马哈精密科技株式会社
- 当前专利权人地址: 日本静冈县
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 邸万奎
- 优先权: 2016-050233 2016.03.14 JP
- 主分类号: G01R31/02
- IPC分类号: G01R31/02 ; G01R31/12 ; G01R27/16
摘要:
本发明的基板检查方法,对电路基板上形成的导体图案通过检查探针流过电流来测电特性值,基于该电特性值的测量值判定电路基板的合格与否,包括以下步骤:在测量值为容许范围内的情况下判定为合格,在没有被判定为合格的情况下反复进行测量,在测量次数达到了上限的情况下判定为不合格,同时在第1次的测量值偏离容许范围的情况下,改变对检查探针的电流的方向进行第2次的测量,在该第2次的测量值偏离容许范围的情况下,以测量出第1次的测量值和第2次的测量值之中的偏离容许范围的差较小一方的测量值时的电流的方向进行第3次以后的测量。
公开/授权文献
- CN107192913A 基板检查装置及基板检查方法 公开/授权日:2017-09-22