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静电卡盘
摘要:
本发明提供一种静电卡盘,其包括底座、设置在所该底座上的加热层及设置在该加热层上的绝缘层,在底座与绝缘层之间,且环绕在加热层的外周壁上设置有环状保护部件,该环状保护部件采用抗等离子体腐蚀的弹性材料制作,且环状保护部件在底座与绝缘层之间处于压缩变形状态,以实现加热层与等离子体相隔离。本发明提供的静电卡盘,其环状保护部件具有较高的抗等离子体腐蚀性,从而可以增强对加热层的保护作用,而且该环状保护部件可以实现定期更换,且不会损坏加热层,从而延长了静电卡盘的使用寿命。
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