发明授权
- 专利标题: 静电卡盘
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申请号: CN201710580505.3申请日: 2017-07-17
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公开(公告)号: CN107195578B公开(公告)日: 2019-11-29
- 发明人: 刘建
- 申请人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 申请人地址: 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
- 专利权人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 彭瑞欣; 张天舒
- 主分类号: H01L21/683
- IPC分类号: H01L21/683 ; H01J37/20
摘要:
本发明提供一种静电卡盘,其包括底座、设置在所该底座上的加热层及设置在该加热层上的绝缘层,在底座与绝缘层之间,且环绕在加热层的外周壁上设置有环状保护部件,该环状保护部件采用抗等离子体腐蚀的弹性材料制作,且环状保护部件在底座与绝缘层之间处于压缩变形状态,以实现加热层与等离子体相隔离。本发明提供的静电卡盘,其环状保护部件具有较高的抗等离子体腐蚀性,从而可以增强对加热层的保护作用,而且该环状保护部件可以实现定期更换,且不会损坏加热层,从而延长了静电卡盘的使用寿命。
公开/授权文献
- CN107195578A 静电卡盘 公开/授权日:2017-09-22
IPC分类: