- 专利标题: 一种大占空比脉冲放电制备多功能性纳米防护涂层的方法
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申请号: CN201710360383.7申请日: 2017-05-21
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公开(公告)号: CN107217243B公开(公告)日: 2018-07-13
- 发明人: 宗坚
- 申请人: 江苏菲沃泰纳米科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市玉祁工业园区东环路
- 专利权人: 江苏菲沃泰纳米科技有限公司
- 当前专利权人: 江苏菲沃泰纳米科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市玉祁工业园区东环路
- 代理机构: 大连理工大学专利中心
- 代理商 梅洪玉
- 主分类号: C23C16/513
- IPC分类号: C23C16/513
摘要:
一种大占空比脉冲放电制备多功能性纳米防护涂层的方法,属于等离子体技术领域,该方法中,将反应腔室内的真空度抽到10~200毫托,并通入惰性气体He或者Ar,开启运动机构,使基材在反应腔室内产生运动,通入单体蒸汽到反应腔室内,等离子体放电,进行化学气相沉积,沉积过程包括预处理阶段和镀膜阶段,预处理阶段等离子体放电方式为大功率连续放电,镀膜阶段等离子体放电方式为大占空比脉冲放电。涂层制备过程中,基材的运动特性和等离子体大占空比脉冲放电能量组合联动。等离子体放电的同时,基材产生运动,提高了涂层沉积效率,改善了涂层厚度的均匀性和致密性。制备的涂层具有防水防潮,防霉菌,耐酸、碱性溶剂,耐酸、碱性盐雾等特性。
公开/授权文献
- CN107217243A 一种大占空比脉冲放电制备多功能性纳米防护涂层的方法 公开/授权日:2017-09-29
IPC分类: