一种大占空比脉冲放电制备多功能性纳米防护涂层的方法
摘要:
一种大占空比脉冲放电制备多功能性纳米防护涂层的方法,属于等离子体技术领域,该方法中,将反应腔室内的真空度抽到10~200毫托,并通入惰性气体He或者Ar,开启运动机构,使基材在反应腔室内产生运动,通入单体蒸汽到反应腔室内,等离子体放电,进行化学气相沉积,沉积过程包括预处理阶段和镀膜阶段,预处理阶段等离子体放电方式为大功率连续放电,镀膜阶段等离子体放电方式为大占空比脉冲放电。涂层制备过程中,基材的运动特性和等离子体大占空比脉冲放电能量组合联动。等离子体放电的同时,基材产生运动,提高了涂层沉积效率,改善了涂层厚度的均匀性和致密性。制备的涂层具有防水防潮,防霉菌,耐酸、碱性溶剂,耐酸、碱性盐雾等特性。
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