发明授权
摘要:
本发明提供一种显示出优良的电特性的半导体器件和该半导体器件的制作方法。或者提供具有该半导体器件的显示装置和该显示装置的制作方法。本发明提供的半导体器件包括:第1晶体管,其位于衬底上,具有栅极电极、氧化物半导体膜和栅极电极与氧化物半导体膜之间的栅极绝缘膜;绝缘膜,其位于第1晶体管上,具有第1膜和第1膜上的第2膜;和端子,其通过绝缘膜内的开口部与氧化物半导体膜电连接。绝缘膜具有与端子接触的第1区域,第1区域与绝缘膜的其它区域相比氧的组成大。
公开/授权文献
- CN107240608A 半导体器件、显示装置和它们的制作方法 公开/授权日:2017-10-10
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