发明授权
CN107251575B MEMS麦克风封装
失效 - 权利终止
- 专利标题: MEMS麦克风封装
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申请号: CN201580021205.0申请日: 2015-04-17
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公开(公告)号: CN107251575B公开(公告)日: 2020-06-05
- 发明人: J.S.萨尔蒙
- 申请人: 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址: 德国斯图加特
- 专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址: 德国斯图加特
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 张雨; 傅永霄
- 优先权: 61/982382 2014.04.22 US
- 国际申请: PCT/US2015/026320 2015.04.17
- 国际公布: WO2015/164192 EN 2015.10.29
- 进入国家日期: 2016-10-21
- 主分类号: H04R19/04
- IPC分类号: H04R19/04 ; B81B3/00 ; B81B7/00
摘要:
在一个实施例中,微电子机械系统(MEMS)麦克风封装包括:多层基底;上声学端口,其形成为穿过所述多层基底的多个上层并且暴露膜部分的上表面;下声学端口,其形成为穿过所述多层基底的多个下层并且暴露所述膜部分的下表面;环形槽,其形成为穿过所述多个上层中的至少一个并且暴露金属环;位于所述环形槽上方的MEMS芯片;铜柱环,其在所述金属环与所述MEMS芯片之间延伸;以及定位在所述铜柱环的第一表面上的焊接柱环,所述铜柱环和所述焊接柱环将所述MEMS芯片附接到所述金属环。
公开/授权文献
- CN107251575A MEMS麦克风封装 公开/授权日:2017-10-13