发明授权
- 专利标题： 带电粒子束系统
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申请号： CN201710222521.5申请日： 2017-04-06
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公开(公告)号： CN107275175B公开(公告)日： 2021-10-22
- 发明人: W.黄 , J.A.诺特
- 申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
- 申请人地址： 美国纽约州
- 专利权人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
- 当前专利权人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
- 当前专利权人地址： 美国纽约州
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 邱军
- 优先权： 62/318,975 20160406 US
- 主分类号： H01J37/08
- IPC分类号： H01J37/08 ; H01J37/26
摘要：
一种离子源，包括外壳、导电尖端、配置为将操作气体供应到尖端的附近的气体供应系统以及配置为冷却尖端的冷却系统。气体供应系统包括具有中空内部的第一管，并且在管的中空内部中提供化学吸气剂材料。
公开/授权文献
- CN107275175A 带电粒子束系统 公开/授权日：2017-10-20