公开(公告)号：CN107275175B

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN201710222521.5

申请日：2017-04-06

申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

发明人： W.黄 ,  J.A.诺特

IPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/26

摘要： 一种离子源，包括外壳、导电尖端、配置为将操作气体供应到尖端的附近的气体供应系统以及配置为冷却尖端的冷却系统。气体供应系统包括具有中空内部的第一管，并且在管的中空内部中提供化学吸气剂材料。

公开(公告)号：CN107275175A

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201710222521.5

申请日：2017-04-06

申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

发明人： W.黄 ,  J.A.诺特

IPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/26

CPC分类号： H01J27/20 ,  B03C1/023 ,  B03C3/383 ,  B03C3/41 ,  B03C3/47 ,  B03C3/60 ,  G21K1/087 ,  H01J27/022 ,  H01J27/26 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/0807 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/022

摘要： 一种离子源，包括外壳、导电尖端、配置为将操作气体供应到尖端的附近的气体供应系统以及配置为冷却尖端的冷却系统。气体供应系统包括具有中空内部的第一管，并且在管的中空内部中提供化学吸气剂材料。