发明授权
- 专利标题: MEMS地面大气电场传感器
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申请号: CN201710555617.3申请日: 2017-07-10
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公开(公告)号: CN107300642B公开(公告)日: 2023-11-07
- 发明人: 杨鹏飞 , 彭春荣 , 夏善红 , 刘宇涛 , 吴双
- 申请人: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
- 申请人地址: 北京市海淀区成府路45号中关村智造大街C栋201号
- 专利权人: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
- 当前专利权人: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区成府路45号中关村智造大街C栋201号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 任岩
- 主分类号: G01R29/12
- IPC分类号: G01R29/12
摘要:
一种MEMS地面大气电场传感器,包括:弧顶探测结构以及MEMS电场测量模块,弧顶探测结构包括:导电弧顶防雨外壳,顶部为弧形,底部设置有朝向顶部的凹槽,导电连接柱,设置在所述凹槽顶部,与所述弧顶防雨外壳电连接;固支腔体上部,为顶部封闭、底部开口的筒体,设置在所述凹槽内,所述连接柱贯穿固支腔体上部顶部,且与所述固支腔体上部电性绝缘;以及固支腔体下部,封闭固支腔体上部的底部开口,用于形成固支腔体,MEMS电场测量模块设置在所述固支腔体内,用于通过所述导电连接柱及导电弧顶防雨外壳来探测外界电场。
公开/授权文献
- CN107300642A MEMS地面大气电场传感器 公开/授权日:2017-10-27