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公开(公告)号：CN114229788B
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202010943851.5
申请日：2020-09-09
Applicant: 中国科学院空天信息创新研究院 , 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
Abstract: 一种微型电场传感器圆片级封装增敏降噪结构，该结构主要由三层圆片级导体硅和两层绝缘材料组成，包括：基底层，制作有凹槽与多个垂直互连结构，表面沉积有第一绝缘层，基底层通过第一绝缘层上的刻蚀窗口与接地垂直互连结构连接接地，降低耦合串扰噪声；器件层，刻蚀有传感结构、闭合密封环和屏蔽梁，接地屏蔽梁降低层内耦合噪声；封帽层，通过第二绝缘层与器件层实现绝缘，并通过第二绝缘层的镂空区域与传感结构之间形成微小间隙，以增强感应结构周围电场强度进而提高传感器灵敏度。本公开可实现电场传感器圆片级封装，具有增敏降噪的特点，且制造工艺简单。
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公开(公告)号：CN110824238B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN201911109209.0
申请日：2019-11-13
Applicant: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司 , 中国电力科学研究院有限公司武汉分院 , 南昌中科飞龙传感技术有限责任公司
Abstract: 本发明公开了一种电场感应型非接触式验电器及其自检方法，属于电力设备技术领域。一种电场感应型非接触式验电器，包含套球壳型电场传感器、信号处理电路板、信号指示部件及电源。本发明利用电场感应原理探测外界电力设备及线路的带电状况，发明中的电场传感器采用套球形壳式结构。操作人员通过拍打或敲击本发明的顶部即可完成自检过程。本发明可以避免直接接触带电设备或线路产生的安全隐患，保护人身安全；本发明小角度偏转不影响验电的准确性；本发明自检过程操作简便。
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公开(公告)号：CN108508283B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN201810694787.4
申请日：2018-06-28
Applicant: 中国科学院电子学研究所 , 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
Abstract: 本发明提供一种电场传感器封装组件，其包括：电场敏感芯片，用于测量电场强度；基板，电场敏感芯片设置在基板的上表面上；连接部件，该连接部件用于连接基板和电场敏感芯片；封帽，该封帽与基板的上表面连接形成腔体结构，电场敏感芯片和连接部件设置在腔体结构内；以及增敏电极，该增敏电极设置在封帽的上表面上。本发明还提供一种批量化制造电场传感器封装组件的方法。
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公开(公告)号：CN107015072B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN201710381914.0
申请日：2017-05-25
Applicant: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
IPC: G01R29/12
Abstract: 本发明公开了一种基于电场传感器的密封型非接触式手持静电仪，涉及静电检测领域。本发明提出的手持式静电仪包括感应电极、隔离层、套筒、尾盖、显示屏、控制按钮、距离模块构成全密封外壳结构，内部固定电场传感器敏感芯片、信号处理电路及电池。在不使用时，裸露电极外部采用屏蔽罩保护。本发明提出的基于电场传感器的密封型非接触式手持静电仪与传统手持静电仪相比，采用全密封结构，无裸露可动部件，能够在易燃易爆场所使用，充分保障被测环境及核心敏感元件的安全，测试精确。
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公开(公告)号：CN107300642B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN201710555617.3
申请日：2017-07-10
Applicant: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
IPC: G01R29/12
Abstract: 一种MEMS地面大气电场传感器，包括：弧顶探测结构以及MEMS电场测量模块，弧顶探测结构包括：导电弧顶防雨外壳，顶部为弧形，底部设置有朝向顶部的凹槽，导电连接柱，设置在所述凹槽顶部，与所述弧顶防雨外壳电连接；固支腔体上部，为顶部封闭、底部开口的筒体，设置在所述凹槽内，所述连接柱贯穿固支腔体上部顶部，且与所述固支腔体上部电性绝缘；以及固支腔体下部，封闭固支腔体上部的底部开口，用于形成固支腔体，MEMS电场测量模块设置在所述固支腔体内，用于通过所述导电连接柱及导电弧顶防雨外壳来探测外界电场。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110824238A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201911109209.0
申请日：2019-11-13
Applicant: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司 , 中国电力科学研究院有限公司武汉分院 , 南昌中科飞龙传感技术有限责任公司
Abstract: 本发明公开了一种电场感应型非接触式验电器及其自检方法，属于电力设备技术领域。一种电场感应型非接触式验电器，包含套球壳型电场传感器、信号处理电路板、信号指示部件及电源。本发明利用电场感应原理探测外界电力设备及线路的带电状况，发明中的电场传感器采用套球形壳式结构。操作人员通过拍打或敲击本发明的顶部即可完成自检过程。本发明可以避免直接接触带电设备或线路产生的安全隐患，保护人身安全；本发明小角度偏转不影响验电的准确性；本发明自检过程操作简便。
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公开(公告)号：CN110031691A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910333896.8
申请日：2019-04-24
Applicant: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司 , 中国科学院电子学研究所
Abstract: 本发明提供了一种非接触式静电传感器组网系统，包括：至少一台检测设备、通信单元和主机设备；各台检测设备设置在监控范围内的各个节点上，所述检测设备得到的检测数据通过所述通信单元传输到所述主机设备上，所述主机设备的存储单元对检测数据进行实时存储，方便后续进行数据分析处理；其中，每台检测设备包括静电感应单元，用于检测所述检测设备所处环境带电物产生的静电场。本发明实现了体积小，功耗低，精度高，实用性强，自组网，大范围多点静电监测。
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公开(公告)号：CN114113813B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202111408915.2
申请日：2021-11-24
Applicant: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
IPC: G01R29/12
Abstract: 本发明公开了一种自适应型MEMS电场传感器及其结构，包括可动接地电极、至少一个拾振参考电极、至少一个感应电极、至少一个驱动电极；所述拾振参考电极与可动接地电极之间形成电容，用于检测可动接地电极的振动情况；可动接地电极与感应电极相对部分，形成感应电极的屏蔽电极，感应电极用于感应外部电场；在驱动电极上施加激励信号，使可动接地电极处于谐振状态，检测拾振参考电极、感应电极的输出，以感应电极输出的解调感应电压除以拾振参考电极输出的解调参考电压，得到外部电场检测结果。通过自动调整激励信号及对输出进行修正，能够根据环境及结构参数变化进行自适应调整，实现对传感器输出漂移的补偿，极大提高MEMS传感器的测量准确性。
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公开(公告)号：CN106672890B
公开(公告)日：2018-12-04
申请号：CN201611151617.9
申请日：2016-12-13
Applicant: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
Abstract: 本发明公开了一种灵敏度增强型电场传感器封装盖板及封装方法，涉及电场检测技术领域。本发明提出的封装盖板包括内芯、盖板边缘和隔离环，其中，内芯位于盖板中部、被封装的电场传感器敏感面上方，有效增强了电场传感器的灵敏度；盖板边缘用于连接封装管壳；隔离环位于盖板边缘和内芯之间，起到支撑与隔离作用。同时，采用此结构还增加了封装的便利性。相应地，本发明提出了相应电场传感器的封装方法，成功地制备了该种结构。
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公开(公告)号：CN108508284A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810255986.5
申请日：2018-03-26
Applicant: 中国科学院电子学研究所 , 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
IPC: G01R29/14
Abstract: 本发明公开了一种基于扭转振动的互屏蔽式电场传感器，包括：基底；电场感应结构，该电场感应结构包含：至少一组固定电极和可动扭转电极，该固定电极与可动扭转电极均为感应电极，并且两者互为屏蔽电极，即在可动扭转电极扭转振动时，固定电极和可动扭转电极之间产生相对运动，两者相互屏蔽，同时在固定电极和可动扭转电极上产生感应电荷的变化；扭转弹性梁，与可动扭转电极相连；以及驱动结构，驱动可动扭转电极绕着扭转弹性梁发生扭转振动，使得固定电极与可动扭转电极产生相对位置变化。该电场传感器的结构简单且体积小，感应效率高，使用范围广泛，适用于普通机械加工和微加工技术制备，易于组装、集成、批量化和规模化生产。
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