MEMS地面大气电场传感器
摘要:
一种MEMS地面大气电场传感器,包括:弧顶探测结构以及MEMS电场测量模块,弧顶探测结构包括:导电弧顶防雨外壳,顶部为弧形,底部设置有朝向顶部的凹槽,导电连接柱,设置在所述凹槽顶部,与所述弧顶防雨外壳电连接;固支腔体上部,为顶部封闭、底部开口的筒体,设置在所述凹槽内,所述连接柱贯穿固支腔体上部顶部,且与所述固支腔体上部电性绝缘;以及固支腔体下部,封闭固支腔体上部的底部开口,用于形成固支腔体,MEMS电场测量模块设置在所述固支腔体内,用于通过所述导电连接柱及导电弧顶防雨外壳来探测外界电场。
公开/授权文献
0/0